特許
J-GLOBAL ID:202003007770925272

圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊藤 信和
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-133558
公開番号(公開出願番号):特開2020-014063
出願日: 2018年07月13日
公開日(公表日): 2020年01月23日
要約:
【課題】 気密封止が充分な圧電デバイスを提供する。【解決手段】 圧電デバイス(100)は、第1平面と該第1平面の反対面の第2平面とを有しセラミックで形成された平面視で矩形の平板(120)、第1平面に形成され、所定の周波数で振動する圧電振動片を載置する一対のパット(121)、第1平面の外周に沿って矩形の枠形状に形成された金属膜(125)、及び第2平面に形成されパッドと導通する外部電極を有するベースを備える。また圧電デバイスは、パットに接続された圧電片と、金属膜に共晶合金を介して接続されたキャップとを備える。枠形状の金属膜は、平板に平行な第1領域と第1領域の外周側で平板に垂直な第2領域とを有し、共晶合金は第1領域及び第2領域にわたって接続している。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
第1平面と該第1平面の反対面の第2平面とを有し、セラミックで形成された平面視で矩形の平板、前記第1平面に形成され、所定の周波数で振動する圧電振動片を載置する一対のパット、前記第1平面の外周に沿って前記矩形の枠形状に形成された金属膜、及び前記第2平面に形成され前記パッドと導通する外部電極を有するベースと 前記パットに接続された圧電片と、 前記金属膜に共晶合金を介して接続されたキャップと、を備え、 前記枠形状の金属膜は、前記平板に平行な第1領域と前記第1領域の外周側で前記平板に垂直な第2領域とを有し、 前記共晶合金は前記第1領域及び前記第2領域にわたって接続している圧電デバイス。
IPC (3件):
H03H 9/02 ,  H03H 9/19 ,  H03H 3/02
FI (3件):
H03H9/02 A ,  H03H9/19 D ,  H03H3/02 C
Fターム (11件):
5J108BB02 ,  5J108CC04 ,  5J108DD02 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE18 ,  5J108GG03 ,  5J108GG09 ,  5J108GG15 ,  5J108GG16 ,  5J108MM01
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 表面実装用の水晶振動子
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2004-004589   出願人:日本電波工業株式会社
  • 水晶振動子
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-246832   出願人:リバーエレテック株式会社

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