特許
J-GLOBAL ID:202003008605318481
フレキシブル発光デバイスの製造方法および製造装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (6件):
奥田 誠司
, 喜多 修市
, 山下 亮司
, 三宅 章子
, 村瀬 成康
, 北 倫子
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2019-540121
特許番号:特許第6694558号
出願日: 2018年05月09日
請求項(抜粋):
【請求項1】 第1の表面と第2の表面とを有する積層構造体であって、
前記第1の表面を規定するガラスベース;
TFT層および発光素子層を含む機能層領域;
前記ガラスベースと前記機能層領域との間に位置して前記ガラスベースに固着している合成樹脂フィルムであって、前記機能層領域を支持しているフレキシブル基板領域と、前記フレキシブル基板領域を囲む中間領域とを含む合成樹脂フィルム;および、
前記機能層領域を覆い、前記第2の表面を規定する保護シート;
を備える積層構造体を用意する工程と、
前記合成樹脂フィルムの前記中間領域と前記フレキシブル基板領域とを分割する工程であって、前記中間領域が開口部を有する一枚の連続したシート形状を有するように分割する工程と、
前記合成樹脂フィルムと前記ガラスベースとの界面を剥離光で照射する工程と、
前記積層構造体の前記第2の表面をステージに接触させた状態で、前記ステージから前記ガラスベースまでの距離を拡大することにより、前記積層構造体を第1部分と第2部分とに分離する工程と、
を含み、
前記積層構造体の前記第1部分は、前記ステージに付着した前記合成樹脂フィルムの前記中間領域および発光デバイスを含み、前記発光デバイスは、前記機能層領域と前記合成樹脂フィルムの前記フレキシブル基板領域を有しており、前記積層構造体の前記第2部分は、前記ガラスベースを含み、
更に、前記発光デバイスが前記ステージに付着している状態を維持したまま、前記ステージに付着した前記合成樹脂フィルムの前記中間領域を前記ステージから剥がし取る工程を含み、
前記剥離光は、非コヒーレント光である、フレキシブル発光デバイスの製造方法。
IPC (7件):
H05B 33/10 ( 200 6.01)
, H01L 51/50 ( 200 6.01)
, H01L 27/32 ( 200 6.01)
, G09F 9/30 ( 200 6.01)
, G09F 9/00 ( 200 6.01)
, G09F 9/33 ( 200 6.01)
, H01L 33/00 ( 201 0.01)
FI (8件):
H05B 33/10
, H05B 33/14 A
, H01L 27/32
, G09F 9/30 310
, G09F 9/00 338
, G09F 9/30 365
, G09F 9/33
, H01L 33/00 L
引用特許:
出願人引用 (7件)
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特許第6334080号
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特許第6334079号
-
特許第6333502号
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審査官引用 (17件)
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特許第6334080号
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特許第6334080号
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特許第6334080号
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特許第6334079号
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特許第6334079号
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特許第6334079号
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特許第6333502号
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特許第6333502号
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特許第6333502号
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特許第6334077号
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特許第6334077号
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特許第6334077号
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特許第6334078号
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特許第6334078号
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特許第6334078号
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積層体の加工装置および加工方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2014-174769
出願人:株式会社半導体エネルギー研究所
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フレキシブルデバイスの製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2012-193939
出願人:パナソニック株式会社
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