分析システム及び分析方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人磯野国際特許商標事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-236231
公開番号（公開出願番号）：特開2018-091766
特許番号：特許第6751341号
出願日： 2016年12月05日
公開日（公表日）： 2018年06月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】周辺の外気を吸引するガス吸引口を有する第1の配管と、前記第1の配管に流れる気体の一部が流通するとともに、前記第1の配管よりも小さい流量を有する第2の配管と、前記第2の配管の出口側に設けられる分析装置と、前記第2の配管の途中に設けられ、検査片が導入される検査片導入装置と、を有し、前記第1の配管の内部に前記検査片導入装置が備えられていることを特徴とする分析システム。

IPC (2件)：