特許
J-GLOBAL ID：202003008669634182
感知装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
特許業務法人弥生特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-098699
公開番号（公開出願番号）：特開2020-193846
出願日： 2019年05月27日
公開日（公表日）： 2020年12月03日
要約：
【課題】圧電振動子の加熱冷却のばらつきを抑制しつつメンテナンスが簡単な感知装置を提供すること。【解決手段】気体である被感知物質を圧電振動子に吸着させて感知する感知装置において、基板と、熱電素子部と、支持板とを一体化した感知モジュール部を熱電素子部に給排熱を行うベース部に着脱自在に設けている。そのため基板と、熱電素子部とを組み立てるときの設置誤差による冷却加熱性能のばらつきを抑制することができる。また感知モジュール部に故障が発生したときにも感知モジュール部単位で着脱することができ、簡単に交換することができる。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
気体である被感知物質を圧電振動子に吸着させ、当該圧電振動子の温度を変化させて被感知物質を脱離させ、圧電振動子の発振周波数の変化と前記温度との関係に基づいて、被感知物質を感知する感知装置において、
前記圧電振動子を保持した基板と、
前記基板と接する位置に設けられ、前記圧電振動子の温度を変化させるための熱電素子部と、
前記基板と接する位置とは反対側から前記熱電素子部を支持する支持板と、
前記熱電素子部を支持する面とは反対側の面と接触するように前記支持板が固定され、前記支持板を介して前記熱電素子部に対する給熱と排熱との少なくとも一方を行うためのベース部と、を備え、
前記基板と熱電素子部と支持板とが一体化され、前記ベース部から着脱自在な感知モジュール部を構成していることを特徴とする感知装置
IPC (1件)：
FI (1件)：
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