特許
J-GLOBAL ID：202003008954832419
荷電粒子ビーム画像取得装置
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
池上 徹真
, 須藤 章
, 高下 雅弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-122081
公開番号（公開出願番号）：特開2020-004586
出願日： 2018年06月27日
公開日（公表日）： 2020年01月09日
要約：
【目的】チャンバ内を真空状態にすることにより、チャンバ内圧と大気圧との差圧によって、チャンバ自身が変形する場合でも、位置関係の誤差を補正し易い装置を提供する。【構成】本発明の一態様の荷電粒子ビーム画像取得装置は、試料が配置される直方体の検査室103(チャンバ)と、チャンバ上面の2本の対角線の交点を中心にして、チャンバ上面に載置される、試料に1次荷電粒子ビームを照射する1次荷電粒子ビーム光学系が配置される1次電子ビームカラム102と、1次電子鏡筒の下部に接続され、1次荷電粒子ビームが試料に照射されることに起因して放出される2次荷電粒子ビームが通過する2次荷電粒子ビーム光学系が配置される2次電子ビームカラム104と、を備えたことを特徴とする。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
試料が配置される直方体のチャンバと、
前記チャンバ上面の2本の対角線の交点を中心にして、前記チャンバ上面に載置される、前記試料に1次荷電粒子ビームを照射する1次荷電粒子ビーム光学系が配置される1次電子鏡筒と、
前記1次電子鏡筒の下部に接続され、前記1次荷電粒子ビームが前記試料に照射されることに起因して放出される2次荷電粒子ビームが通過する2次荷電粒子ビーム光学系が配置される2次電子鏡筒と、
を備えたことを特徴とする荷電粒子ビーム画像取得装置。
IPC (5件)：
H01J 37/28
, H01J 37/16
, H01J 37/147
, H01J 37/29
, H01J 37/05
H01J37/28 B
, H01J37/16
, H01J37/147 B
, H01J37/29
, H01J37/05
5C033AA02
, 5C033AA05
, 5C033FF03
, 5C033FF10
, 5C033UU01
, 5C033UU03
出願人引用 (3件)
審査官引用 (6件)
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