特許
J-GLOBAL ID：202003009486675510
プラズマリアクタ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渥美 久彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-059116
公開番号（公開出願番号）：特開2017-174619
特許番号：特許第6738175号
出願日： 2016年03月23日
公開日（公表日）： 2017年09月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 放電電極を有する複数の電極パネルを積層した構造を有し、隣接する前記電極パネル間に形成されたガス流路にガスを流して電圧を印加することによりプラズマを発生させるプラズマパネル積層体を備えるプラズマリアクタであって、
前記ガス流路は、複数であっていずれも同じ方向を向いており、
前記電極パネルの積層方向と直交する方向を前記ガス流路の幅方向と定義したとき、前記電極パネルは、前記ガス流路に沿って延びる突条を含んだ肉厚部を、少なくとも前記ガス流路の幅方向において離れて位置する第1端部及び第2端部に有し、
前記第1端部に配置された前記肉厚部に、互いに電気系統が異なる複数の電気導通部が設けられており、
前記電気導通部は、前記放電電極に電気的に接続されており、
前記第1端部に配置された前記肉厚部は、前記第2端部に配置された前記肉厚部よりも幅広に形成されている
ことを特徴とするプラズマリアクタ。
IPC (3件)：
H05H 1/24 ( 200 6.01)
, B01J 19/08 ( 200 6.01)
, F01N 3/08 ( 200 6.01)
H05H 1/24
, B01J 19/08 E
, F01N 3/08 C
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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