電気特性測定装置及び電気特性測定方法

発明者： , , , , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：木下茂 , 澤田優子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-056966
公開番号（公開出願番号）：特開2020-161556
出願日： 2019年03月25日
公開日（公表日）： 2020年10月01日
要約：

【課題】誘電体膜が形成された半導体ウェーハの電気特性測定において、パルス光伝導法を用い、測定効率を向上すること。【解決手段】誘電体膜が形成された半導体ウェーハの試料12から生じる光伝導信号をパルス光伝導法により測定する電気特性測定装置1であって、制御部20は、前記試料が充電された後、パルス光照射手段4により前記試料に紫外線のパルス光を照射させるとともに、該照射のタイミングに基づいて充電リレー16により充電用抵抗をオフにして測定用抵抗のみに切り替える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

誘電体膜が形成された半導体ウェーハの試料から生じる光伝導信号をパルス光伝導法により測定する電気特性測定装置であって、前記試料の誘電体膜に対し所定のギャップを空けて配置された電極と、前記電極から前記試料に対し矩形波状のパルス電圧を印加するパルス電圧印加手段と、前記電極の位置から前記試料に対し紫外線のパルス光を照射するパルス光照射手段と、前記試料を挟んで前記電極とは反対側において、前記試料を保持する為の金属製の試料ステージに接続された測定回路のケーブルと、前記印加された電圧により前記試料を充電するため、前記測定回路のケーブル寄生容量と並列に設けられた充電用抵抗と、前記充電用抵抗のオンオフを切り替える充電リレーと、前記測定回路において前記試料ステージが一端に接続された前記ケーブルの他端側に接続された測定用抵抗と、前記パルス光照射手段の動作と前記充電リレーの動作とを制御する制御部とを備え、前記制御部は、前記試料が充電された後、前記パルス光照射手段により前記試料に紫外線のパルス光を照射させるとともに、該照射のタイミングに基づいて前記充電リレーにより前記充電用抵抗をオフにして前記測定用抵抗のみに切り替えることを特徴とする電気特性測定装置。

IPC (3件)：

H01L 21/66 , G01N 27/04 , G01N 27/00

FI (4件)：

H01L21/66 Q , H01L21/66 L , G01N27/04 Z , G01N27/00 Z

Fターム (13件)：

2G060AF08 , 2G060EB08 , 2G060HC10 , 2G060KA16 , 4M106AA01 , 4M106AA13 , 4M106BA04 , 4M106BA07 , 4M106BA20 , 4M106CA70 , 4M106CB10 , 4M106DH04 , 4M106DH31

引用特許：

審査官引用 (1件)

金属汚染濃度分析方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2016-088844 出願人：グローバルウェーハズ・ジャパン株式会社, 国立大学法人熊本大学

引用文献：

審査官引用 (2件)

Noncontact evaluation for interface states by photocarrier counting
Nondestructive Measurement of Nonlinear Conduction of Nanoscale Materials, Nanoscale SiO2, and K0.3M

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