特許
J-GLOBAL ID：202003010088103270
溶射用材料、溶射皮膜および溶射皮膜付部材
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (3件)：
安部 誠
, 大井 道子
, 谷 征史
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-043941
公開番号（公開出願番号）：特開2016-211072
特許番号：特許第6722006号
出願日： 2016年03月07日
公開日（公表日）： 2016年12月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 構成元素として希土類元素(RE)、酸素(O)およびハロゲン元素(X)を含む希土類元素オキシハロゲン化物(RE-O-X)を含む溶射用材料であって、
前記希土類元素オキシハロゲン化物における、前記希土類元素に対する前記ハロゲン元素のモル比(X/RE)は1.3以上1.39以下である、溶射用材料。
IPC (3件)：
C23C 4/04 ( 200 6.01)
, H01L 21/3065 ( 200 6.01)
, C23C 24/04 ( 200 6.01)
C23C 4/04
, H01L 21/302 101 G
, C23C 24/04
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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