熱処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人ブライタス
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-205878
公開番号（公開出願番号）：特開2018-067653
特許番号：特許第6737684号
出願日： 2016年10月20日
公開日（公表日）： 2018年04月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被処理物を収容するとともに熱処理用ガスが供給されるように構成されたチューブであって、前記被処理物を取り囲む筒状の胴部を有するチューブと、前記チューブ内のガスを排出するための排出部と、を備え、前記排出部は、前記チューブから前記ガスが供給される第1排気管と、この第1排気管とは離隔して配置された第2排気管と、前記第1排気管および前記第2排気管の少なくとも一方と分離可能に設けられ、前記第1排気管から前記第2排気管に向かう前記ガスを冷却する冷却媒体を供給するための冷却媒体供給部と、前記第1排気管および前記胴部に設けられ前記チューブに対する前記第1排気管の向きを変更可能に前記第1排気管と前記胴部とを接続する球面継手と、前記第1排気管を前記第1排気管の軸方向と直交する方向に位置調整可能に支持する第1サポートと、を含んでいることを特徴とする、熱処理装置。

IPC (4件)：

H01L 21/31 ( 200 6.01) , H01L 21/22 ( 200 6.01) , H01L 21/324 ( 200 6.01) , C23C 16/44 ( 200 6.01)

FI (4件)：

H01L 21/31 B , H01L 21/22 501 C , H01L 21/324 R , C23C 16/44 E

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平1-140714
熱処理装置の配管連結装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-187566 出願人：東京エレクトロン東北株式会社
熱処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-340502 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社

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審査官引用 (4件)

特開平1-140714
熱処理装置の配管連結装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-187566 出願人：東京エレクトロン東北株式会社
熱処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-340502 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社

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