特許
J-GLOBAL ID:202003010587970367
プラズマ電力送達システムのための周期間制御システムおよびそれを動作させるための方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
山本 秀策
, 森下 夏樹
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2020-500181
公開番号(公開出願番号):特表2020-526881
出願日: 2018年07月05日
公開日(公表日): 2020年08月31日
要約:
発電機は、出力対時間の規定パターンに従う、送達された電力、電圧、電流、順方向電力等の出力を生成し、パターンは、過去の1つ以上の繰り返し周期に行われた測定に基づいて、パターンの区分を制御することによって、繰り返し周期を伴って繰り返す。可変インピーダンス合致ネットワークが、無線周波数発電機に提示されるインピーダンスを制御し得る一方で、発電機は、出力対時間の規定パターンに従う出力を生成し、パターンは、過去の1つ以上の繰り返し周期に行われた測定に基づいて、パターンの区分中に合致の中の可変インピーダンス要素を制御することによって、繰り返し周期を伴って繰り返す。
請求項(抜粋):
電力送達システムであって、
繰り返し出力パターンを生成する発電機と、
制御要素であって、前記制御要素は、現在の周期に先立った周期に行われる前記繰り返しパターンの値の測定に基づいて、前記繰り返しパターンを制御する、制御要素と
を備える、電力送達システム。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (25件):
2G084AA02
, 2G084AA04
, 2G084AA05
, 2G084BB21
, 2G084CC09
, 2G084CC11
, 2G084CC33
, 2G084DD01
, 2G084DD38
, 2G084DD55
, 2G084EE16
, 2G084EE21
, 2G084EE26
, 2G084HH05
, 2G084HH06
, 2G084HH08
, 2G084HH21
, 2G084HH22
, 2G084HH23
, 2G084HH25
, 2G084HH26
, 2G084HH28
, 2G084HH31
, 2G084HH52
, 2G084HH56
引用特許:
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