特許
J-GLOBAL ID：200903052339246268

ICP用高周波電源装置

発明者：
土生 俊也

土生 俊也 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (1件)： 竹本 松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-377304
公開番号（公開出願番号）：特開2002-184598
出願日： 2000年12月12日
公開日（公表日）： 2002年06月28日
要約：
【要約】【課題】 ICP用高周波電源装置の素子の故障率を低減し、また、小さな定格値でプラズマ点灯時の反射電力に耐え得ることができる。【解決手段】 誘導コイルに高周波電力を供給するICP用高周波電源装置において、高周波パワーアンプと前記高周波パワーアンプを制御する制御手段とを備えた構成とし、第1の態様では電源電圧を切換えることでプラズマ点灯前における電圧上昇を抑制し、第2の態様ではバイアス電圧を切換えることでプラズマ点灯前における電力損失を抑制し、また、第3の態様では電源電圧を一定とした状態で入力電力制御をオープンループとすることでプラズマ点灯前における電源効率を高める。
請求項（抜粋）：
誘導コイルに高周波電力を供給するICP用高周波電源装置において、高周波パワーアンプと前記高周波パワーアンプを制御する制御手段とを備え、前記制御手段は、前記高周波パワーアンプに印加する電源電圧をプラズマ発生前とプラズマ発生後とで切換え、プラズマ発生前の電源電圧をプラズマ発生後の電源電圧よりも低電圧とすることを特徴とするICP用高周波電源装置。
IPC (3件)：
H05H 1/24 ,  G01N 21/73 ,  H01L 21/3065
FI (3件)：
H05H 1/24 ,  G01N 21/73 ,  H01L 21/302 B
Fターム (12件)：
2G043AA01 ,  2G043EA08 ,  2G043GA09 ,  2G043GB11 ,  2G043GB21 ,  2G043MA03 ,  2G043MA13 ,  5F004AA16 ,  5F004BA20 ,  5F004BB32 ,  5F004CA03 ,  5F004CA07
引用特許：
審査官引用 (6件)
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