特許
J-GLOBAL ID:202003010758149942
質量分析装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人京都国際特許事務所
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-512664
特許番号:特許第6642702号
出願日: 2016年04月18日
請求項(抜粋):
【請求項1】 試料にレーザ光を照射してそのレーザ光照射領域に存在する試料中の物質をイオン化するイオン源を具備し、該イオン源で生成されたイオン又はそれに由来するイオンを質量分析する質量分析装置において、
a)レーザ光を射出するレーザ光源部と、
b)前記試料に照射されるレーザ光の大きさを変更するサイズ変更部と、
c)前記サイズ変更部により試料に照射されるレーザ光のサイズが大きくなるように変更されたときに、前記レーザ光源部から射出されたレーザ光を、その光束の断面形状が1種類のみで平面充填が可能である矩形状に整形するレーザ光整形部と、
d)前記試料上のレーザ光照射位置が移動するように該試料と照射レーザ光との相対位置関係を制御する位置制御部であって、そのレーザ光の光束の断面形状が前記矩形状に整形されて前記試料上に照射されるときに、該レーザ光の照射領域によって平面充填がなされるように該試料と照射レーザ光との相対位置関係を制御する位置制御部と、
を備えることを特徴とする質量分析装置。
IPC (3件):
G01N 27/62 ( 200 6.01)
, H01J 49/16 ( 200 6.01)
, H01J 49/26 ( 200 6.01)
FI (3件):
G01N 27/62 G
, H01J 49/16
, H01J 49/26
引用特許:
引用文献:
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