特許
J-GLOBAL ID:202003010928869686

測定装置、測定方法、および測定プログラム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 龍華国際特許業務法人
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-223533
公開番号(公開出願番号):特開2020-085763
出願日: 2018年11月29日
公開日(公表日): 2020年06月04日
要約:
【課題】従来の厚さ計において、吸水性のある測定対象物の厚さを測定した場合、測定対象物の吸水量により測定光および参照光の透過率が変化し、測定誤差が増加し得る。【解決手段】シート状の測定対象物の厚さを測定する測定装置であって、第1波長を有する第1光を測定対象物に透過させた光の第1光強度、第1波長よりも測定対象物の材料による吸収率が低い第2波長を有する第2光を測定対象物に透過させた光の第2光強度、および、第1波長よりも測定対象物の材料による吸収率が低く、第2波長よりも流体を含んだ測定対象物による吸収率が低い第3波長を有する第3光を測定対象物に透過させた光の第3光強度、を検出する検出部と、第1光強度、第2光強度、および、第3光強度を用いて、測定対象物の厚さを算出する厚さ算出部と、を備える測定装置を提供する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
シート状の測定対象物の厚さを測定する測定装置であって、 第1波長を有する第1光を前記測定対象物に透過させた光の第1光強度、 前記第1波長よりも前記測定対象物の材料による吸収率が低い第2波長を有する第2光を前記測定対象物に透過させた光の第2光強度、および、 前記第1波長よりも前記測定対象物の材料による吸収率が低く、前記第2波長よりも流体を含んだ前記測定対象物による吸収率が低い第3波長を有する第3光を前記測定対象物に透過させた光の第3光強度、を検出する検出部と、 前記第1光強度、前記第2光強度、および、前記第3光強度を用いて、前記測定対象物の厚さを算出する厚さ算出部と、 を備える測定装置。
IPC (1件):
G01B 11/06
FI (1件):
G01B11/06 Z
Fターム (32件):
2F065AA30 ,  2F065BB13 ,  2F065BB17 ,  2F065CC02 ,  2F065CC31 ,  2F065DD04 ,  2F065EE00 ,  2F065EE11 ,  2F065FF46 ,  2F065GG02 ,  2F065GG07 ,  2F065GG23 ,  2F065HH13 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ18 ,  2F065LL22 ,  2F065LL23 ,  2F065LL28 ,  2F065MM03 ,  2F065MM07 ,  2F065NN06 ,  2F065PP02 ,  2F065PP16 ,  2F065QQ01 ,  2F065QQ14 ,  2F065QQ16 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ44 ,  2F065RR06
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 摺動装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2015-177088   出願人:株式会社豊田中央研究所
審査官引用 (1件)
  • 摺動装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2015-177088   出願人:株式会社豊田中央研究所

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