ガラス板の製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：城村邦彦 , 熊野剛 , 友廣真一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-177611
公開番号（公開出願番号）：特開2020-045267
出願日： 2018年09月21日
公開日（公表日）： 2020年03月26日
要約：

【課題】処理室内の汚染物質の発生を防止し、ガラス板の品質向上を図る。【解決手段】処理室5内で処理装置を用いてガラス板Gに処理を施す処理工程を含むガラス板の製造方法であって、処理室5内に捕集体11を配置し、処理室5内の汚染物質を捕集体11の表面に付着させて捕集する捕集工程を備えている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

処理室内で処理装置を用いてガラス板に処理を施す処理工程を含むガラス板の製造方法であって、前記処理室内に捕集体を配置し、前記処理室内の汚染物質を前記捕集体の表面に付着させて捕集する捕集工程を備えていることを特徴とするガラス板の製造方法。

IPC (3件)：

C03B 33/02 , G01N 1/00 , G01N 1/02

FI (4件)：

C03B33/02 , G01N1/00 101B , G01N1/02 N , G01N1/02 Q

Fターム (32件)：

2G052AA05 , 2G052AA15 , 2G052AA40 , 2G052AB26 , 2G052AB27 , 2G052AC13 , 2G052AC23 , 2G052AD52 , 2G052AD57 , 2G052BA03 , 2G052BA05 , 2G052BA21 , 2G052CA41 , 2G052CA45 , 2G052DA05 , 2G052GA11 , 2G052GA24 , 2G052GA31 , 2G052GA32 , 2G052HB06 , 2G052HB09 , 2G052JA06 , 2G052JA07 , 2G052JA18 , 2G052JA20 , 4G015FA03 , 4G015FA04 , 4G015FA07 , 4G015FB01 , 4G015FC01 , 4G015FC10 , 4G015FC14

引用特許：

審査官引用 (8件)

ガラス基板の製造方法、およびガラス基板
公報種別：公開公報出願番号：特願2015-132211 出願人：AvanStrate株式会社
不純物分析用基板および不純物分析方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-126885 出願人：三菱電機株式会社
特開昭63-133643

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