特許
J-GLOBAL ID:202003011106212185

ガスセンサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (7件): 奥山 尚一 ,  松島 鉄男 ,  中村 綾子 ,  森本 聡二 ,  田中 祐 ,  徳本 浩一 ,  有原 幸一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-188574
公開番号(公開出願番号):特開2020-056726
出願日: 2018年10月03日
公開日(公表日): 2020年04月09日
要約:
【課題】 より高感度で、検出対象ガスを選択的に正確に検出することができるガスセンサが求められる。【解決手段】 検出対象ガスと非検出対象ガスとを含むガスを吸着する吸着層53と、前記吸着層53に覆われ、前記吸着53層を通過した前記検出対象ガスの濃度に応じて電気的特性が変化する感知層52とを備え、前記吸着層が、金粒子と、前記金粒子を担持した金属酸化物担体とを含む触媒成分を含み、前記金粒子の平均粒子径が10nm以下であり、前記金粒子が、前記触媒成分の総質量を100%としたときに、0.02質量%以上であって12質量%以下の量で含まれている、ガスセンサ。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
検出対象ガスと非検出対象ガスとを含むガスを吸着する吸着層と、 前記吸着層に覆われ、前記吸着層を通過した前記検出対象ガスの濃度に応じて電気的特性が変化する感知層と を備え、 前記吸着層が、金粒子と、前記金粒子を担持した金属酸化物担体とを含む触媒成分を含み、 前記金粒子の平均粒子径が10nm以下であり、前記金粒子が、前記触媒成分の総質量を100%としたときに、0.02質量%以上であって12質量%以下の量で含まれている、ガスセンサ。
IPC (1件):
G01N 27/12
FI (1件):
G01N27/12 C
Fターム (23件):
2G046AA26 ,  2G046BA01 ,  2G046BA04 ,  2G046BA06 ,  2G046BA09 ,  2G046BB02 ,  2G046BB04 ,  2G046DB03 ,  2G046EB06 ,  2G046FB02 ,  2G046FE03 ,  2G046FE09 ,  2G046FE10 ,  2G046FE11 ,  2G046FE12 ,  2G046FE15 ,  2G046FE21 ,  2G046FE25 ,  2G046FE39 ,  2G046FE44 ,  2G046FE46 ,  2G046FE48 ,  2G046FE49
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • ガスセンサ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2016-119265   出願人:富士電機株式会社
  • 半導体ガスセンサの間欠駆動方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2009-146277   出願人:富士電機システムズ株式会社
  • 特開平4-323548
引用文献:
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