特許
J-GLOBAL ID：202003011398114928
駆動装置、位置決め装置、リソグラフィー装置、および、物品製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
大塚 康徳
, 大塚 康弘
, 高柳 司郎
, 木村 秀二
, 下山 治
, 永川 行光
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-168529
公開番号（公開出願番号）：特開2017-051089
特許番号：特許第6741525号
出願日： 2016年08月30日
公開日（公表日）： 2017年03月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】コイルおよび磁石を有するモータを駆動する駆動装置であって、
前記コイルに電流を供給する電流ドライバと、前記電流ドライバに供給するべき電流指令値を生成する制御部と、を備え、
前記制御部は、
指令値または前記指令値を演算して得られる演算値に基づいて第1電流指令値を生成する第1コミュテーション演算部と、
前記指令値に基づいて第2電流指令値を生成する第2コミュテーション演算部と、
前記第2電流指令値に基づいて補正値を決定する補正値決定部と、
前記第1電流指令値と前記補正値とに基づいて前記電流指令値を生成する補正部と、を含み、
前記電流ドライバの伝達関数をF(s)とした場合に、前記補正値決定部の伝達関数が(F(s)-1-1)であり、F(s)とF(s)-1とがF(s)*F(s)-1=1を満たす関係を有する
ことを特徴とする駆動装置。
IPC (2件)：
H02P 6/14 ( 201 6.01)
, G03F 7/20 ( 200 6.01)
H02P 6/14
, G03F 7/20 521
, G03F 7/20 501
