特許
J-GLOBAL ID:202003011897083294
超音波測定方法、超音波測定プログラム、及び超音波測定装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (2件):
伊東 忠重
, 伊東 忠彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2019-078727
公開番号(公開出願番号):特開2020-174856
出願日: 2019年04月17日
公開日(公表日): 2020年10月29日
要約:
【課題】目的とする測定対象物の層の界面の位置または厚さを精度良く特定することのできる超音波測定技術を提供する。【解決手段】超音波測定方法は、測定対象物に超音波を照射し、前記測定対象物からの反射波を取得して前記測定対象物の深さ方向の音響インピーダンスを計算し、前記音響インピーダンスを二回微分して得られる変曲点に基づいて前記測定対象物の厚さを推定し出力する。【選択図】図6
請求項(抜粋):
測定対象物に超音波を照射し、
前記測定対象物からの反射波を取得して前記測定対象物の深さ方向の音響インピーダンスを計算し、
前記音響インピーダンスを二回微分して得られる変曲点に基づいて前記測定対象物の厚さを推定し出力する、
ことを特徴とする超音波測定方法。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (12件):
4C601DD01
, 4C601DD19
, 4C601DD21
, 4C601EE09
, 4C601EE11
, 4C601GC02
, 4C601GC03
, 4C601JB40
, 4C601JB46
, 4C601JC11
, 4C601KK02
, 4C601KK28
引用特許:
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