特許
J-GLOBAL ID：202003011971140661
自動マルチグリッドハンドリング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人朝日奈特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2020-512783
公開番号（公開出願番号）：特表2020-520080
出願日： 2018年05月11日
公開日（公表日）： 2020年07月02日
要約：
電子顕微鏡用の自動グリッドハンドリング装置であって、自動グリッドハンドリング装置は、マルチステージシャトルを有する搬送モジュールであって、マルチステージシャトルが、全体移動のための単一の動作の自由度を有する第1のシャトルステージと、精密移動のための、第1のシャトルステージとは独立した単一の動作の自由度を有する第2のシャトルステージとを含む、搬送モジュールと、第1および第2のシャトルステージのうちの少なくとも1つに接続されたエンドエフェクタであって、エンドエフェクタが、グリッドキャリアを保持し、グリッドを保持するグリッドキャリアを、電子顕微鏡の多軸位置決めステージポートに連通可能に接続された搬送インタフェースを通して、電子顕微鏡へとおよび電子顕微鏡から搬送するように構成され、エンドエフェクタが、第1および第2のシャトルステージの動作の自由度と電子顕微鏡の内部の多軸位置決めステージとの組み合わせによって画定された動作範囲を有する、エンドエフェクタと、フレームに接続され、搬送モジュールに連通可能に接続された自動装填モジュールであって、自動装填モジュールが、装填ポートモジュールを含み、装填ポートモジュールを通ってグリッドが自動装填モジュールおよび搬送モジュールに装填される、自動装填モジュールとを含む。
請求項（抜粋）：
電子顕微鏡用の自動グリッドハンドリング装置であって、
前記電子顕微鏡の多軸位置決めステージポートに取り外し可能に連結するように構成されたフレームと、
前記フレームに接続された搬送モジュールであって、前記搬送モジュールが、マルチステージシャトルを含み、前記マルチステージシャトルが、単一の動作の自由度を有する第1のシャトルステージと、前記第1のシャトルステージとは独立した単一の動作の自由度を有する第2のシャトルステージとを有する、搬送モジュールと、
前記第1および第2のシャトルステージのうちの少なくとも1つに接続されたエンドエフェクタであって、前記エンドエフェクタが、グリッドキャリアを保持し、グリッドを保持する前記グリッドキャリアを、前記多軸位置決めステージポートに連通可能に接続された搬送インタフェースを通して、前記電子顕微鏡へとおよび前記電子顕微鏡から搬送するように構成され、前記エンドエフェクタが、前記第1および第2のシャトルステージの動作の自由度と前記電子顕微鏡の内部の前記多軸位置決めステージとの組み合わせによって画定された動作範囲を有し、前記動作範囲は、前記エンドエフェクタが前記電子顕微鏡の検査ステージを部分的に画定するように、前記グリッドを保持する前記グリッドキャリアを検査位置に位置付けるために、前記電子顕微鏡の外部のグリッド保持後退位置から前記電子顕微鏡の内部の検査位置まで伸長する、エンドエフェクタと、
前記フレームに接続され、前記搬送モジュールに連通可能に接続された自動装填モジュールであって、前記自動装填モジュールが、装填ポートモジュールを含み、前記装填ポートモジュールを通ってグリッドが前記自動装填モジュールおよび前記搬送モジュールに装填される、自動装填モジュールと
を備える自動グリッドハンドリング装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
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