特許
J-GLOBAL ID：202003012087165037

研削装置

発明者：
渡辺 真也

渡辺 真也 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 特許業務法人酒井国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-021816
公開番号（公開出願番号）：特開2017-140657
特許番号：特許第6707357号
出願日： 2016年02月08日
公開日（公表日）： 2017年08月17日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被加工物を保持面で保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルで保持した該被加工物を研削砥石で研削する研削手段と、該保持面と近接・離間する方向に該研削手段を研削送りさせる研削送り手段と、を備える研削装置であって、 研削送りされ移動する該研削砥石の該保持面からの位置と、該位置に至るまでの研削送り速度と、を研削条件として設定する条件設定手段と、 該設定された研削条件を表示する表示画面と、を備え、 該表示画面は、 該条件設定手段に数値で登録された該研削条件に基づいて、時間経過を軸にして該研削砥石の該位置の変化を示すグラフを表示するとともに、 研削砥石の下面と研削前の被加工物の上面との距離が所定距離の位置から研削砥石が研削前の被加工物の上面に達するまでのエアーカット、エアーカット後に実行されるP1カット、P1カット後に実行されるP2カット、P2カット後に実行されるP3カット、P3カット後に実行されるエスケープカットの各送り速度の満たすべき関係、 エアーカットの開始位置の被加工物からの位置と、被加工物の加工前の厚さと、P1カット終了時の被加工物の厚さと、P2カット終了時の被加工物の厚さと、P3カット終了時の被加工物の厚さと、エスケープカット終了時の被加工物からの位置との関係の満たすべき条件を記憶しておき、 条件を満たさない研削条件が設定された場合、表示画面で研削条件の誤りを報知することを特徴とする研削装置。
IPC (6件)：
B23Q 17/00 ( 200 6.01) ,  G05B 19/409 ( 200 6.01) ,  B23Q 15/00 ( 200 6.01) ,  B24B 49/10 ( 200 6.01) ,  B24B 47/20 ( 200 6.01) ,  H01L 21/304 ( 200 6.01)
FI (7件)：
B23Q 17/00 D ,  G05B 19/409 C ,  B23Q 15/00 301 A ,  B24B 49/10 ,  B24B 47/20 ,  H01L 21/304 631 ,  H01L 21/304 622 R
引用特許：
審査官引用 (2件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM