特許
J-GLOBAL ID：202003012423978114

載置用部材

発明者：
原田 昌浩

原田 昌浩 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-150018
公開番号（公開出願番号）：特開2018-019017
特許番号：特許第6659493号
出願日： 2016年07月29日
公開日（公表日）： 2018年02月01日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 板状体における第1面に、載置面を有する突出部を複数備え、マンガンの酸化物、コバルトの酸化物および珪素の酸化物を含む酸化アルミニウム質セラミックスからなり、前記マンガンの酸化物の含有量が2質量%以上6質量%以下であり、前記コバルトの酸化物の含有量が0.6質量%以上2質量%以下であり、前記珪素の酸化物の含有量が0.02質量%以上3質量%以下であり、前記第1面は、粗さ曲線における25%の負荷長さ率と75%の負荷長さ率との間の切断レベル差(Rδc)が1.1μm以上2.42μm以下であることを特徴とする載置用部材。
IPC (4件)：
H01L 21/683 ( 200 6.01) ,  B65G 49/06 ( 200 6.01) ,  G03F 7/20 ( 200 6.01) ,  C04B 35/10 ( 200 6.01)
FI (4件)：
H01L 21/68 P ,  B65G 49/06 A ,  G03F 7/20 521 ,  C04B 35/10
引用特許：
審査官引用 (6件)
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