集束イオンビーム装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：田▲崎▼ 聡 , 鈴木慎吾 , 西澤和純 , 小林淳一 , 志賀正武
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-055757
公開番号（公開出願番号）：特開2017-174503
特許番号：特許第6711655号
出願日： 2016年03月18日
公開日（公表日）： 2017年09月28日
請求項（抜粋）：

【請求項1】試料を載置する試料台と、前記試料に集束イオンビームを照射し、微小試料片を作成する集束イオンビーム鏡筒と、前記試料台、および前記集束イオンビーム鏡筒を収容する試料室と、前記試料室に対して挿脱可能に形成され、先端側で前記微小試料片を保持可能なサイドエントリ型のキャリアと、前記試料台および前記キャリアの間で前記微小試料片を移動させる試料片移動手段と、を備え、前記試料台は、少なくとも水平面に沿ったx軸およびこれに直角なy軸と、鉛直方向に沿ったz軸にそれぞれ沿って移動可能に形成され、前記試料台の一端には、前記キャリアに着脱自在に係合して、該試料台の移動に伴って該キャリアも移動させるキャリア係合部を形成したことを特徴とする集束イオンビーム装置。

IPC (3件)：

H01J 37/317 ( 200 6.01) , H01J 37/20 ( 200 6.01) , H01J 37/31 ( 200 6.01)

FI (3件)：

H01J 37/317 D , H01J 37/20 D , H01J 37/31

引用特許：

審査官引用 (1件)

集束イオンビーム装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-166715 出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ

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