特許
J-GLOBAL ID：200903092266120343
集束イオンビーム装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-166715
公開番号（公開出願番号）：特開2005-005108
出願日： 2003年06月11日
公開日（公表日）： 2005年01月06日
要約：
【課題】透過型電子顕微鏡観察用試料を容易に作製し且つ透過型電子顕微鏡ホルダに装着することができることを目的とする。【解決手段】集束イオンビーム装置は、試料室、イオンビーム光学系、試料ステージ、サイドエントリ型ステージ及び透過型電子顕微鏡試料ホルダ、及び、マイクロサンプリングステージ及び試料ホルダ交換機構、を有し、試料ステージは、試料を移動させるxテーブル、yテーブル、zテーブル、ローテーションテーブル及びチルトテーブルを有し、上記サイドエントリ型ステージは、x微動部及びyzt微動部を有し、上記x微動部とyzt微動部は、上記試料室にて対向するように配置され、上記x微動部は、上記チルトテーブルに設けられたチルト軸に設けられた中空部に配置されている。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
試料室と、該試料室に装着されたイオンビーム光学系と、上記試料室内に配置され走査型電子顕微鏡試料ホルダを有する試料ステージと、上記試料室のx軸方向に沿って配置されたサイドエントリ型ステージ及び透過型電子顕微鏡試料ホルダと、上記試料室のy軸方向に沿って配置されたマイクロサンプリングステージ及び試料ホルダ交換機構と、を有する集束イオンビーム装置。
IPC (5件)：
H01J37/20
, G01N1/28
, G01N1/32
, H01J37/30
, H01J37/317
H01J37/20 D
, H01J37/20 Z
, G01N1/32 B
, H01J37/30 Z
, H01J37/317 D
, G01N1/28 F
, G01N1/28 G
2G052AA13
, 2G052AD32
, 2G052AD52
, 2G052DA33
, 2G052EC14
, 2G052EC18
, 2G052EC22
, 2G052FD06
, 2G052GA34
, 2G052JA04
, 2G052JA07
, 5C001AA03
, 5C001AA04
, 5C001AA05
, 5C001AA06
, 5C001BB06
, 5C001BB07
, 5C001CC03
, 5C001CC04
, 5C001CC08
, 5C001DD03
, 5C034AA02
, 5C034AB04
, 5C034DD09
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (10件)
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