特許

J-GLOBAL ID：202003013575002771

荷電粒子線装置

発明者： 藤本 直樹 ,  樋山 公崇
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人信友国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-174407
公開番号（公開出願番号）：特開2020-047449
出願日： 2018年09月19日
公開日（公表日）： 2020年03月26日
要約：

【課題】観察する像のノイズの発生を抑制する。【解決手段】試料室内で、試料が固定された試料固定部材を保持する試料保持機構と、試料保持機構を制御する制御部と、を備える荷電粒子線装置であって、試料保持機構は、試料固定部材が載置される載置部と、所定の初期位置から移動して、載置部に載置された試料固定部材を係止する係止部と、試料室内の温度を検出する温度検出部と、を有し、制御部は、温度検出部が検出した試料室内の温度に応じて、係止部の移動量を決定する。【選択図】図11

請求項（抜粋）：

試料室内で、試料が固定された試料固定部材を保持する試料保持機構と、 前記試料保持機構を制御する制御部と、を備える荷電粒子線装置であって、 前記試料保持機構は、 前記試料固定部材が載置される載置部と、 所定の初期位置から移動して、前記載置部に載置された前記試料固定部材を係止する係止部と、 前記試料室内の温度を検出する温度検出部と、を有し、 前記制御部は、前記温度検出部が検出した前記試料室内の温度に応じて、前記係止部の移動量を決定する ことを特徴とする荷電粒子線装置。

IPC (1件)：

H01J 37/20

FI (1件)：

H01J37/20 A

Fターム (3件)：

5C001AA01 ,  5C001CC03 ,  5C001DD03

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開平1-197952
  
• 電子顕微鏡用試料ホルダ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-281310   出願人：株式会社日立製作所
• 特開平1-276555
  
• 特許第7238953号
  

審査官引用 (4件)

• 特開平1-197952
  
• 電子顕微鏡用試料ホルダ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-281310   出願人：株式会社日立製作所
• 特開平1-276555
  
• 特許第7238953号