特許
J-GLOBAL ID：202003014195646613
微細剣山製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
小野 尚純
, 奥貫 佐知子
, 鹿角 剛二
, 金子 吉文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-230645
公開番号（公開出願番号）：特開2020-093307
出願日： 2018年12月10日
公開日（公表日）： 2020年06月18日
要約：
【課題】被加工物の表面に、先端が尖った複数の柱を形成して、微細な剣山を形成することができる微細剣山製造方法を提供する。【解決手段】本発明によれば、剣山を製造すべき被加工物10を切削する外周に切り刃を備えた円板状の切削ブレード43を準備し、切削ブレード43の厚みTに対する切り刃出し量のアスペクト比を所定のアスペクト比よりも大きくするアスペクト比設定工程と、切削ブレード43を回転させ、切り刃の先端を回転軸方向に微振動させて被加工物10の第一の方向に切削溝94を所定のピッチで複数形成して先端が尖った複数の壁を形成する第一の切削工程と、切削ブレードを回転させ、切り刃の先端を回転軸方向に微振動させて第一の方向と直交する第二の方向に所定のピッチで複数の壁を切削して先端が尖った複数の柱を形成する第二の切削工程と、から少なくとも構成される微細剣山製造方法である。【選択図】図9
請求項（抜粋）：
微細な剣山を製造する微細剣山製造方法であって、
剣山を製造すべき被加工物を準備する被加工物準備工程と、
被加工物を切削する外周に切り刃を備えた円板状の切削ブレードを準備する切削ブレード準備工程と、
該切削ブレードの厚みに対する切り刃出し量のアスペクト比を所定のアスペクト比よりも大きくするアスペクト比設定工程と、
該切削ブレードを回転軸に装着する切削ブレード装着工程と、
該切削ブレードを回転させ、切り刃の先端を該回転軸方向に微振動させて被加工物の第一の方向に切削溝を所定のピッチで複数形成して先端が尖った複数の壁を形成する第一の切削工程と、
切削ブレードを回転させ、切り刃の先端を該回転軸方向に微振動させて第一の方向と直交する第二の方向に所定のピッチで該複数の壁を切削して先端が尖った複数の柱を形成する第二の切削工程と、
から少なくとも構成される微細剣山製造方法。
IPC (4件)：
B24B 1/04
, B24B 1/00
, B24B 19/16
, H01L 21/304
B24B1/04 E
, B24B1/00 A
, B24B19/16 Z
, H01L21/304 601Z
3C049AA03
, 3C049AA16
, 3C049CA01
, 3C049CB01
, 5F057AA02
, 5F057BA12
, 5F057BB03
, 5F057CA40
, 5F057DA17
