駆動モードにおける干渉運動が最小化された回転速度センサ

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：アインゼル・フェリックス=ラインハルト , 森田拓 , 前川純一 , 二宮浩康 , 上島類
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-502224
特許番号：特許第6698815号
出願日： 2016年05月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】回転速度センサ(1)であって、前記回転速度センサ(1)は、主延在平面(100)を有する基板(3)と、前記基板(3)に対して移動可能な少なくとも1つの第1の構造体(5)と、前記基板(3)及び前記第1の構造体(5)に対して移動可能な少なくとも1つの第2の構造体(7)と、を備え、前記回転速度センサ(1)は、前記第1の構造体(5)を、当該第1の構造体(5)の静止位置から第1の軸(Y)に対して平行な運動成分によって変位させるための、少なくとも1つの第1の駆動構造体(9)を含み、前記回転速度センサ(1)は、前記第2の構造体(7)を、当該第2の構造体(7)の静止位置から前記第1の軸(Y)に対して平行な運動成分によって変位させるための、少なくとも1つの第2の駆動構造体(11)を含み、前記第1の構造体(5)及び前記第2の構造体(7)を、前記第1の軸(Y)に対して平行な運動成分によって逆位相で振動するように励振させることが可能である、回転速度センサ(1)において、前記第1の駆動構造体(9)は、前記基板(3)に固定された少なくとも1つの第1のばね(13)を有していて、これによって、前記第1のばね(13)は、前記主延在平面(100)に対して垂直に延在する第2の軸(Z)に対して平行に延在する軸を中心とした前記第1の構造体(5)の旋回に対して反作用するようになっており、前記第2の駆動構造体(11)は、前記基板(3)に固定された少なくとも1つの第2のばね(15)を有していて、これによって、前記第2のばね(15)は、前記第2の軸(Z)に対して平行に延在する別の軸を中心とした前記第2の構造体(7)の旋回に対して反作用するようになっており、前記回転速度センサ(1)は、前記第1の構造体(5)を、当該第1の構造体(5)の静止位置から前記第1の軸(Y)に対して平行な運動成分によって変位させるための、少なくとも1つの第3の駆動構造体(17)を含み、前記第3の駆動構造体(17)は、前記基板(3)に固定された少なくとも1つの第3のばね(21)を有していて、これによって、前記第3のばね(21)は、前記第2の軸(Z)に対して平行に延在する前記軸を中心とした前記第1の構造体(5)の旋回に対して反作用するようになっており、前記回転速度センサ(1)は、前記第2の構造体(7)を、当該第2の構造体(7)の静止位置から前記第1の軸(Y)に対して平行な運動成分によって変位させるための、少なくとも1つの第4の駆動構造体(19)を含み、前記第4の駆動構造体(19)は、前記基板(3)に固定された少なくとも1つの第4のばね(23)を有していて、これによって、前記第4のばね(23)は、前記第2の軸(Z)に対して平行に延在する前記別の軸を中心とした前記第2の構造体(7)の旋回に対して反作用するようになっており、前記第1のばね(13)及び/又は前記第2のばね(15)及び/又は前記第3のばね(21)及び/又は前記第4のばね(23)は、前記基板に固定された少なくとも1つの第1のばねビーム(39)と、前記基板に固定された少なくとも1つの第2のばねビーム(41)と、前記第1のばねビーム(39)及び前記第2のばねビーム(41)を接続させる少なくとも1つの曲げ剛性のビーム(43)と、前記曲げ剛性のビーム(43)及び各前記駆動構造体(9,11,17,19)を接続させる少なくとも1つの第3のばねビーム(45)と、前記曲げ剛性のビーム(43)及び各前記駆動構造体(9,11,17,19)を接続させる少なくとも1つの第4のばねビーム(47)と、を含む、ことを特徴とする回転速度センサ(1)。

IPC (3件)：

G01C 19/5747 ( 201 2.01) , H01L 29/84 ( 200 6.01) , B81B 3/00 ( 200 6.01)

FI (5件)：

G01C 19/574 , H01L 29/84 Z , H01L 29/84 B , H01L 29/84 A , B81B 3/00

引用特許：

審査官引用 (2件)

回転レートセンサー
公報種別：公表公報出願番号：特願2002-566606 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
加速度角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-184878 出願人：トヨタ自動車株式会社

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