特許
J-GLOBAL ID:200903045953339942
回転レートセンサー
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
矢野 敏雄
, アインゼル・フェリックス=ラインハルト
, ラインハルト・アインゼル
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-566606
公開番号(公開出願番号):特表2004-518970
出願日: 2002年02月13日
公開日(公表日): 2004年06月24日
要約:
本発明は、回転レートセンサーに関し、第1及び第2のコリオリ・エレメント(100,200)を備えており、該コリオリ・エレメントがサブストレート(1)の表面の上に並べて配置されている。コリオリ・エレメント(100,200)が第1の軸に対して平行な振動を生ぜしめるように励起される。コリオリ力によってコリオリ・エレメント(100,200)が第1の軸に対して垂直な第2の軸の方向に変位させられる。第1及び第2のコリオリ・エレメント(100,200)が連結ばね(52,53,54)によって互いに連結されており、該連結ばねが第1の軸の方向及び第2の軸の方向で柔らかく形成されている。これによって、両方の軸の方向での振動の振動数が同位相及び逆位相の振動にとって異なって遮断される。
請求項(抜粋):
回転レートセンサーであって、第1のコリオリ・エレメント(100)及び第2のコリオリ・エレメント(200)を備えており、該コリオリ・エレメントがサブストレート(1)の表面の上に並べて配置されており、励起手段(104,105,204,205)が設けられており、該励起手段によってコリオリ・エレメント(100,200)が第1の軸に対して平行な振動を生ぜしめるように励起可能であり、検出手段(101,201)が設けられており、該検出手段によって、コリオリ・エレメント(100,200)のコリオリ力に基づく変位が、前記第1の軸に対して垂直な第2の軸の方向で検出可能であり、第1及び第2の軸(X,Y)がサブストレート(1)の表面に対して平行に延びている形式のものにおいて、第1及び第2のコリオリ・エレメント(100,200)が連結ばね(52,53,54)を用いて互いに結合されており、該連結ばねが第1の軸の方向及び第2の軸の方向で柔らかく形成されていることを特徴とする回転レートセンサー。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (5件):
2F105BB11
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD05
, 2F105CD13
引用特許:
審査官引用 (3件)
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回転角速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-207355
出願人:ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
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振動型角速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-334336
出願人:株式会社豊田中央研究所
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角速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-203560
出願人:アイシン精機株式会社
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