特許
J-GLOBAL ID：202003015106951994
干渉縞の検査装置、干渉縞の検査方法、及び干渉縞を用いた検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
橘 哲男
, 藤本 正紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-139793
公開番号（公開出願番号）：特開2020-016552
出願日： 2018年07月25日
公開日（公表日）： 2020年01月30日
要約：
【課題】 単色光、例えば低圧ナトリウムランプの輝線スペクトルに近い単色光を発光させることが可能な光源装置を提供する。【解決手段】 水銀を含む放電管から成る光源12と、光源の前方に順次に配置された第一の光学フィルタ13及び第二の光学フィルタ14と、光拡散板とから構成されており、第一の光学フィルタ13が、光源から発生する光の一つのピーク波長より短い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備えていて、第二の光学フィルタ14が、光源から発生する光のピーク波長より長い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備え、第一の光学フィルタ13及び第二の光学フィルタ14を透過した光を光拡散板によって拡散させる、光源装置10を構成する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
水銀を含む放電管から成る光源と、前記光源の前方に順次に配置された第一の光学フィルタ及び第二の光学フィルタと、光拡散板から構成されており、
前記第一の光学フィルタまたは第二の光学フィルタが、前記光源から発生する光の一つのピーク波長より短い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備えていて、
前記第二の光学フィルタまたは第一の光学フィルタが、前記光源から発生する光の前記ピーク波長より長い波長域のスペクトル成分を遮断する光学特性を備え、
前記第一の光学フィルタ及び第二の光学フィルタを透過した光を前記光拡散板によって拡散させる、
ことを特徴とする、光源装置。
IPC (4件)：
G01N 21/84
, F21S 2/00
, F21V 9/08
, F21V 9/20
G01N21/84 E
, F21S2/00 340
, F21S2/00 311
, F21V9/08
, F21V9/20
2G051AA90
, 2G051AB01
, 2G051AB02
, 2G051CA11
, 3K243AA01
, 3K243AC06
, 3K243BE05
