特許
J-GLOBAL ID：202003015175660250

アフォーカルビーム調整アセンブリを用いて透明被加工物をレーザ加工するための装置及び方法

発明者：
ブイ,ドゥク アン

ブイ,ドゥク アン について


出願人/特許権者：
コーニング インコーポレイテッド

コーニング インコーポレイテッド について


代理人 (3件)： 柳田 征史 ,  坂野 博行 ,  高橋 秀明
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2020-511225
公開番号（公開出願番号）：特表2020-531392
出願日： 2018年08月24日
公開日（公表日）： 2020年11月05日
要約：
透明被加工物をレーザ加工するための方法は:上記透明被加工物内に輪郭線を形成するステップ;及び赤外線ビーム源によって出力された赤外線レーザビームを、アフォーカルビーム調整アセンブリを通して上記透明被加工物上に、上記輪郭線に沿って配向して、上記透明被加工物を上記輪郭線に沿って分割するステップを含む。上記赤外線レーザビームは、上記透明被加工物の表面上に、環状赤外線ビームスポットを形成する。上記赤外線レーザビームは、上記アフォーカルビーム調整アセンブリの上流の入口ビーム直径と、上記アフォーカルビーム調整アセンブリの下流の出口ビーム直径とを含む。上記環状赤外線ビームスポットは、内径、外径、及び環状部分厚さを含む。更に、上記アフォーカルビーム調整アセンブリは、1つ以上の調整可能な光学素子を含む。更に、上記1つ以上の調整可能な光学素子を調整することにより、上記出口ビーム直径が変化し、これにより、上記環状赤外線ビームスポットの上記環状部分厚さが変化する。
請求項（抜粋）：
透明被加工物をレーザ加工するための方法であって、 前記方法は: 前記透明被加工物内に輪郭線を形成するステップであって、前記輪郭線は、前記透明被加工物内の欠陥を含む、ステップ;及び 赤外線ビーム源によって出力された赤外線レーザビームを、アフォーカルビーム調整アセンブリを通して前記透明被加工物上に、前記輪郭線に沿って又は前記輪郭線の付近に配向して、前記透明被加工物を前記輪郭線に沿って分割するステップ を含み、 前記赤外線レーザビームは、前記透明被加工物の表面上に、環状赤外線ビームスポットを形成し; 前記赤外線レーザビームは、前記アフォーカルビーム調整アセンブリの上流の入口ビーム直径と、前記アフォーカルビーム調整アセンブリの下流の出口ビーム直径とを備え; 前記環状赤外線ビームスポットは、内径、外径、及び環状部分厚さを備え; 前記アフォーカルビーム調整アセンブリは、1つ以上の調整可能な光学素子を備え; 前記1つ以上の調整可能な光学素子のうちの少なくとも1つを調整することにより、前記赤外線レーザビームの前記出口ビーム直径が変化し、これにより、前記透明被加工物の前記表面上に形成される前記環状赤外線ビームスポットの前記環状部分厚さが変化する、方法。
IPC (5件)：
C03B 33/09 ,  B23K 26/073 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/53 ,  B23K 26/064
FI (5件)：
C03B33/09 ,  B23K26/073 ,  B23K26/00 N ,  B23K26/53 ,  B23K26/064 A
Fターム (16件)：
4E168AD18 ,  4E168AE02 ,  4E168CB03 ,  4E168CB07 ,  4E168DA02 ,  4E168DA23 ,  4E168DA26 ,  4E168DA39 ,  4E168DA46 ,  4E168EA13 ,  4E168JA14 ,  4E168JA15 ,  4E168KA04 ,  4G015FA06 ,  4G015FB01 ,  4G015FC14
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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