特許
J-GLOBAL ID：202003015176402882
インプリント装置、物品の製造方法、保持装置および露光装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
阿部 琢磨
, 黒岩 創吾
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-038129
公開番号（公開出願番号）：特開2017-157640
特許番号：特許第6732475号
出願日： 2016年02月29日
公開日（公表日）： 2017年09月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 型を用いて基板上にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、
前記型を保持する型保持部と、
前記基板を保持する基板保持部と、を有し、
前記基板保持部の前記基板により被われる領域の周辺領域に、互いに異なる極性に帯電した第1領域と第2領域とを発生させるように設けられ、
前記第1領域および前記第2領域は、前記基板の表面に沿う方向に、前記基板により被われる領域の外周を取り囲むように配置されていることを
特徴とするインプリント装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01)
, G03F 7/20 ( 200 6.01)
, B29C 59/02 ( 200 6.01)
, B08B 6/00 ( 200 6.01)
H01L 21/30 502 D
, G03F 7/20 501
, G03F 7/20 521
, B29C 59/02 Z
, B08B 6/00
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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