特許

J-GLOBAL ID：202003015203153237

流体センサ

発明者： 秋山 典之 ,  山本 洋太
出願人/特許権者： ミネベアミツミ株式会社
代理人 (2件)： 伊東 忠重 ,  伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-038261
公開番号（公開出願番号）：特開2020-143903
出願日： 2019年03月04日
公開日（公表日）： 2020年09月10日
要約：

【課題】流向及び流速の検出精度の向上を図ることを目的とする。【解決手段】主発熱抵抗体と、前記主発熱抵抗体を中心としてX軸方向に対向する位置に配置された一対のX軸温度検出体と、前記主発熱抵抗体を中心としてY軸方向に対向する位置に配置された一対のY軸温度検出体と、前記主発熱抵抗体に接続され、前記X軸温度検出体と前記Y軸温度検出体との間に配置された副発熱抵抗体と、を有する流体センサ。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

主発熱抵抗体と、 前記主発熱抵抗体を中心としてX軸方向に対向する位置に配置された一対のX軸温度検出体と、 前記主発熱抵抗体を中心としてY軸方向に対向する位置に配置された一対のY軸温度検出体と、 前記主発熱抵抗体に接続され、前記X軸温度検出体と前記Y軸温度検出体との間に配置された副発熱抵抗体と、 を有する流体センサ。

IPC (2件)：

G01P 13/00 ,  G01P 5/12

FI (2件)：

G01P13/00 E ,  G01P5/12 C

Fターム (3件)：

2F034AA02 ,  2F034DA09 ,  2F034DB09

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 測定装置の動作方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-320312   出願人：株式会社半導体エネルギー研究所