特許

J-GLOBAL ID：202003016667678550

コーティングシステムにおけるワークピースの装填装置及び方法

発明者： ケルカー ヴェルナー ,  メイ ヴォルター
出願人/特許権者： セメコン アーゲー
代理人 (1件)： 山本 敬敏
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-550193
特許番号：特許第6722691号
出願日： 2016年04月01日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 複数の開口部(24)が上方に向けて配列された外側に向く表面(44)を有する少なくとも一つのスタンド(22)と、 シャフト(32)、保持構造(34)及びワークピース(16)を収容するボアホール(26)を各々が有し、前記開口部(24)に収容される複数の挿入スリーブ(30)と、 を備えた、コーティングシステムにおけるワークピース(16)の装填装置であって、 前記開口部(24)及び前記挿入スリーブ(30)の前記シャフト(32)は、前記挿入スリーブ(30)が前記開口部(24)に挿入自在となるように設計され、 前記開口部(24)及び前記保持構造(34)は、前記挿入スリーブ(30)と前記開口部(24)との間で保持係合状態を生じるように設計されている、 ことを特徴とする装填装置。

IPC (2件)：

C23C 14/50 ( 200 6.01) ,  C23C 16/458 ( 200 6.01)

FI (2件)：

C23C 14/50 D ,  C23C 16/458

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平3-138366
  
• スパッタ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-225956   出願人：ソニー株式会社