特許
J-GLOBAL ID：202003016726626950
超音波検査装置及び超音波検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (4件)：
長谷川 芳樹
, 黒木 義樹
, 柴山 健一
, 中山 浩光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-033084
公開番号（公開出願番号）：特開2020-139746
出願日： 2019年02月26日
公開日（公表日）： 2020年09月03日
要約：
【課題】超音波の照射に応じて半導体デバイスから出力される出力信号の強度を十分に高めることができる超音波検査装置及び超音波検査方法を提供する。【解決手段】パッケージ化された半導体デバイスDを検査対象とする超音波検査装置1であって、半導体デバイスDに対向して配置される超音波振動子2と、超音波振動子2から出力する超音波Wの発生に用いる駆動信号を生成するパルスジェネレータ4と、超音波振動子2による超音波Wの照射に応じて前記半導体デバイスから出力される出力信号を解析する解析部22と、を備え、パルスジェネレータ4は、半導体デバイスD内での超音波Wの吸収が最大となるように駆動信号の最適周波数を設定する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
パッケージ化された半導体デバイスを検査対象とする超音波検査装置であって、
前記半導体デバイスに対向して配置される超音波振動子と、
前記超音波振動子から出力する超音波の発生に用いる駆動信号を生成する信号生成部と、
前記超音波振動子による前記超音波の照射に応じて前記半導体デバイスから出力される出力信号を解析する解析部と、を備え、
前記信号生成部は、前記半導体デバイス内での前記超音波の吸収が最大となるように前記駆動信号の最適周波数を設定する超音波検査装置。
IPC (3件)：
G01N 29/265
, G01N 29/28
, G01N 29/46
G01N29/265
, G01N29/28
, G01N29/46
2G047AA05
, 2G047AC10
, 2G047BA03
, 2G047BC07
, 2G047DB03
, 2G047DB11
, 2G047DB12
, 2G047EA04
, 2G047GE01
, 2G047GF06
, 2G047GF07
, 2G047GF08
, 2G047GF11
, 2G047GG12
, 2G047GG28
, 2G047GH06
