特許
J-GLOBAL ID：202003017297734710
パルス処理
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
伊東 忠重
, 伊東 忠彦
, 大貫 進介
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-031718
公開番号（公開出願番号）：特開2016-161574
特許番号：特許第6685764号
出願日： 2016年02月23日
公開日（公表日）： 2016年09月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】荷電粒子装置によって検出されたX線フォトンもしくは電子のエネルギーを決定するための方法であって、当該方法は、
前記荷電粒子装置により、高エネルギーの電子の集束ビームでサンプル試料を照射すること、
前記サンプル試料に高エネルギー電子の前記集束ビームを照射したことに応答して、前記サンプルから放出されたX線及び/又は二次電子を検出器により検出することであって、X線及び/又は二次電子を検出することは、1つ又は複数のランダムに離間したイベントを含むアナログ信号を生成することを含み、前記1つ又は複数のランダムに離間したイベントの各イベントは対応するイベント高さを有すること、
プログラム可能なプロセッサにより、前記アナログ信号を一連のサンプルS(t)に対応するサンプリングされた離散時間信号に変換することであって、ここで、tはサンプリングの瞬時に対応すること、
前記プログラム可能なプロセッサにより及び前記時間信号内で、前記1つ又は複数のランダムに離間したイベントの存在を決定することであって、前記イベントは、前記検出器によって検出されたX線フォトン又は二次電子に対応し、且つ前記イベントはt=Tにおいて検出されること、
前記プログラム可能なプロセッサにより、より多くのサンプルがイベント間のノイズ寄与を推定するために利用できるように、前記イベントを時間的に圧縮させる前記時間信号に対して、希薄化操作を実行することにより圧縮信号を形成すること、
プログラム可能なプロセッサにより及び前記時間信号に基づき、前記イベントに先行する多数のサンプル及びS(T)に続く多数のサンプルを使用して、推定イベント高さEを決定することであって、ここで、前記推定イベント高さを決定することは、
前記プログラム可能なプロセッサにより、前記時間信号S(t)及び前記圧縮時間信号のうち一方の少なくとも一部にモデルを適用することに基づいて、前記サンプルに対するノイズ寄与を決定することであって、ここで、前記モデルは、t=(T-Δ1)からt=(T+Δ2)までのノイズ寄与N(t)を、t≦(T-Δ1)のサンプルS(t)から及び/又はt≧(T+Δ2)のサンプルS(t)から導出するように構成されており、但しΔ1及びΔ2は、所定のもしくは予め設定された時間期間であり、Δ1は、前記イベントが(T-Δ1)前に採取されたサンプルに対する無視できる寄与を有するような値を有し、且つΔ2は、前記イベントが(T+Δ2)後に採取されたサンプルに対する無視できる寄与を有するような値を有すること、及び
前記プログラム可能なプロセッサにより、前記サンプルについての前記ノイズ寄与を引いて、前記一連のサンプルを(T-Δ1)から(T+Δ2)まで積分することにより、前記推定イベント高さEを決定すること、
を含み、
及び
前記プログラム可能なプロセッサにより及び前記推定イベント高さEに基づき、前記検出器によって検出された前記X線フォトンもしくは電子のエネルギーを決定すること、
を含む、方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (1件)
-
EDS信号の解析方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2013-087150
出願人：エフイーアイカンパニ
審査官引用 (1件)
-
EDS信号の解析方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2013-087150
出願人：エフイーアイカンパニ
引用文献：
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