特許
J-GLOBAL ID：202003017630975933
プローブ走査機構、プローブ装置および走査型プローブ顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
新居 広守
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-552418
特許番号：特許第6712812号
出願日： 2016年11月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 長尺のプローブを走査するプローブ走査機構であって、
前記プローブの長尺方向と同一の方向の両端を貫通する第1の貫通孔を有し、前記第1の貫通孔に挿入された前記プローブを前記プローブの長尺方向に走査する圧電素子と、
前記圧電素子を収容する筒状の筐体と、
前記筐体の一端および他端にそれぞれ固定され、前記圧電素子を挟んで前記筐体に支持する一対の支持部材と、
前記一対の支持部材の一方を前記圧電素子の伸縮軸方向の一端に固定し前記一対の支持部材の他方を前記圧電素子の伸縮軸方向の他端に固定する固定部材と、
少なくとも前記プローブの先端側において、前記プローブを前記第1の貫通孔の内部に保持する保持部材とを備える
プローブ走査機構。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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