特許
J-GLOBAL ID：202003017819100040

センサ試験装置

発明者：
菅 和成

菅 和成 について

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高野 大介

高野 大介 について

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花村 聡

花村 聡 について

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千葉 道郎

千葉 道郎 について

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西崎 久夫

西崎 久夫 について

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早川 敦

早川 敦 について


出願人/特許権者：
株式会社アドバンテスト

株式会社アドバンテスト について


代理人 (1件)： とこしえ特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-234115
公開番号（公開出願番号）：特開2020-094953
出願日： 2018年12月14日
公開日（公表日）： 2020年06月18日
要約：
【課題】汎用性に優れたセンサ試験装置を提供する。【解決手段】センサ試験装置30は、センサ90が電気的に接続されるソケット445と、センサ90に圧力を印加する圧力チャンバ43と、を含む第1の印加装置42を備えた第1の印加ユニット40と、ソケット445を介してセンサ90を試験する試験ユニット35と、第1の印加ユニット40に対してセンサ90を搬入出する搬送ロボット33と、第1の印加ユニット40、試験ユニット35、及び、搬送ロボット33を収容する装置本体301と、を備え、装置本体301は、第1の印加ユニット40を装置本体301から外部に出し入れ可能とする開口306dを有する。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
物理量を検出するセンサを試験するセンサ試験装置であって、 前記センサが電気的に接続されるソケットと、前記センサに前記物理量を印加する印加部と、を含む少なくとも一つの印加装置を備えた印加ユニットと、 前記ソケットを介して前記センサを試験する試験ユニットと、 前記印加ユニットに対して前記センサを搬入出する搬送装置と、 前記印加ユニット、前記試験ユニット、及び、前記搬送装置を収容する装置本体と、を備え、 前記装置本体は、前記印加ユニットを前記装置本体から外部に出し入れ可能とする第1の開口を有するセンサ試験装置。
IPC (3件)：
G01R 31/26 ,  G01R 33/12 ,  G01L 27/02
FI (4件)：
G01R31/26 Z ,  G01R33/12 Z ,  G01R31/26 H ,  G01L27/02
Fターム (20件)：
2F055AA40 ,  2F055BB01 ,  2F055BB05 ,  2F055CC60 ,  2F055DD20 ,  2F055EE40 ,  2F055FF49 ,  2F055GG49 ,  2F055HH01 ,  2G003AA00 ,  2G003AC03 ,  2G003AD03 ,  2G003AD09 ,  2G003AF05 ,  2G003AG01 ,  2G003AG11 ,  2G017CA13 ,  2G017CB02 ,  2G017CC01 ,  2G017CC06
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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