特許
J-GLOBAL ID：202003018059232657

3次元磁界検出素子および3次元磁界検出装置

発明者：
本蔵 晋平

本蔵 晋平 について

, 
本蔵 義信

本蔵 義信 について


出願人/特許権者：
マグネデザイン株式会社

マグネデザイン株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-173168
公開番号（公開出願番号）：特開2020-046234
出願日： 2018年09月17日
公開日（公表日）： 2020年03月26日
要約：
【課題】X軸Y軸Z軸の3つの磁界検出素子の機能を一つの基板上に実現して、0.35mm以下の厚さの超高感度3次元磁界検出素子により超小型超高感度の3次元磁界検出装置を提供する。【解決手段】基板の磁界検出素子配置面と平行方向の磁界を検出するタイプの磁界検出素子を用いて、基板平面上に4つの磁界検出素子を、基板の原点を中心にして第1軸方向に2つ配置し、第1軸と直交する第2軸方向に2つ配置し、さらに磁界検出素子配置面の下部と各磁界検出素子上部に軟磁性体プレートを配置してなり、4つの磁界検出素子と5つの軟磁性体プレートによって磁気回路を形成する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
基板平面上に4つの磁界検出素子配置面と平行方向の磁界を検出するタイプの磁界検出素子を、前記基板の原点を中心とした点対称の位置に、第1軸方向に2つを配置し、第1軸と直交する第2軸方向に2つを配置して磁界検出素子配置面とし、前記磁界検出素子と外部電子回路とを接続するための電極を有し、前記磁界検出素子と外部電子回路との接続側を基板面の上部と定義して、前記磁界検出素子配置面の下部に前記磁界検出素子配置面と平行に、前記原点を中心に点対称の形状を有する下部軟磁性体プレートを配置し、前記磁界検出素子それぞれの上部に前記磁界検出素子配置面と平行に、前記原点を中心に点対称の形状と位置で4つの上部軟磁性体プレートを配置し、前記磁界検出素子内部の感磁体を前記下部軟磁性体プレートと前記原点において磁気的に接続し、前記感磁体と前記上部軟磁性体プレートを前記磁界検出素子の前記原点と反対側の端部において磁気的に接続することにより、前記下部軟磁性体プレートと前記4つの磁界検出素子と前記4つの上部軟磁性体プレートからなる磁気回路を有することにより、前記基板平面に水平方向の第1軸、第2軸および前記基板平面に垂直方向の第3軸の3つの方向の磁界成分を測定して原点位置における磁界ベクトルを検出することを特徴とする3次元磁界検出素子。
IPC (2件)：
G01R 33/02 ,  H01L 43/00
FI (3件)：
G01R33/02 L ,  G01R33/02 V ,  H01L43/00
Fターム (16件)：
2G017AA01 ,  2G017AA16 ,  2G017AC07 ,  2G017AD51 ,  2G017AD53 ,  2G017AD55 ,  2G017AD56 ,  2G017AD64 ,  5F092AA13 ,  5F092AB01 ,  5F092AC01 ,  5F092AC30 ,  5F092AD08 ,  5F092BE06 ,  5F092EA08 ,  5F092FA08
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (2件)

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