特許
J-GLOBAL ID:202003019164990857
除害装置、除害装置の配管部の交換方法及び除害装置の配管の洗浄方法
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
小野 新次郎
, 宮前 徹
, 鐘ヶ江 幸男
, 渡邊 誠
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-193042
公開番号(公開出願番号):特開2020-059002
出願日: 2018年10月12日
公開日(公表日): 2020年04月16日
要約:
【課題】配管の壁面の腐食に起因する装置の性能低下や装置全体の故障を抑制できる除害装置を提供する。【解決手段】本発明に係る除害装置100は、処理ガスが流れる流路103を形成する内壁104を有する除害装置100であって、流路103の一部を形成する第1の配管130と、流路103の一部を形成し、第1の配管130よりも流路103の下流側に位置して第1の配管130に繋がり、内壁104に付着した固体生成物を除去する洗浄水を散水する一段目散水部174を有する交換可能な、配管部170と、流路103の一部を形成し、配管部170よりも流路103の下流側に位置して配管部170に繋がる第2の配管150と、を備える。【選択図】図3
請求項(抜粋):
処理ガスが流れる流路を形成する内壁を有する除害装置であって、
前記流路の一部を形成する第1の配管と、
前記流路の一部を形成し、前記第1の配管よりも前記流路の下流側に位置して前記第1の配管に繋がり、前記内壁に付着した固体生成物を除去する洗浄水を散水する一段目散水部を有する交換可能な、配管部と、
前記流路の一部を形成し、前記配管部よりも前記流路の下流側に位置して前記配管部に繋がる第2の配管と、
を備える、
除害装置。
IPC (7件):
B01D 53/46
, B08B 9/032
, B01D 53/58
, B01D 53/68
, B01D 53/78
, B01D 53/14
, B01D 53/18
FI (8件):
B01D53/46
, B08B9/032 321
, B01D53/58
, B01D53/68 200
, B01D53/68 220
, B01D53/78
, B01D53/14 200
, B01D53/18 150
Fターム (28件):
3B116AA13
, 3B116AB53
, 3B116BB22
, 3B116CC03
, 3B116CD42
, 3B116CD43
, 4D002AA13
, 4D002AA22
, 4D002AA26
, 4D002AC10
, 4D002BA02
, 4D002BA14
, 4D002CA01
, 4D002DA35
, 4D002EA20
, 4D002GA02
, 4D002GB04
, 4D002HA03
, 4D002HA05
, 4D020AA10
, 4D020BA23
, 4D020BB03
, 4D020CB25
, 4D020CC14
, 4D020CC17
, 4D020CC18
, 4D020DA02
, 4D020DB04
引用特許:
出願人引用 (4件)
-
ガス流通方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2010-050854
出願人:株式会社アルファテック
-
特許第4012818号
-
特開昭52-138768
-
半導体排ガス処理装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-057445
出願人:カンケンテクノ株式会社
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審査官引用 (4件)
-
ガス流通方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2010-050854
出願人:株式会社アルファテック
-
特許第4012818号
-
特開昭52-138768
-
半導体排ガス処理装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-057445
出願人:カンケンテクノ株式会社
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