特許
J-GLOBAL ID：202003020548152040
荷電粒子線装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
ポレール特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-533337
特許番号：特許第6727307号
出願日： 2016年08月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 イオン源と、
試料が載置される試料台と、
前記イオン源から見て前記試料の一部が露出するように配置される遮蔽板と、
前記イオン源からのイオンビームの前記試料への照射方向に対するチルト角度を可変とするイオンビーム偏向板を含み、前記イオンビームと交差し前記試料の一部が露出している側の前記遮蔽板の端部が延在する方向に設定されたチルト軸を中心に、前記イオンビームに対し前記試料が前記遮蔽板で遮蔽される方向へ、該試料及び該遮蔽板をチルト角度θだけチルトさせるチルト部と、を有する、荷電粒子線装置。
IPC (3件)：
H01J 37/20 ( 200 6.01)
, H01J 37/30 ( 200 6.01)
, H01J 37/147 ( 200 6.01)
H01J 37/20 A
, H01J 37/30 Z
, H01J 37/147 D
