特許
J-GLOBAL ID：201303038559234600
イオンビーム試料準備装置及び方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人北青山インターナショナル
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-503971
公開番号（公開出願番号）：特表2013-527435
出願日： 2011年04月08日
公開日（公表日）： 2013年06月27日
要約：
イオンビーム試料準備装置の実施形態及びその実施形態を使用する方法が開示される。この装置は、イオンを試料に向け得る、真空チャンバ内の傾斜イオンビーム放射手段と、試料に向けられたイオンの部分を遮蔽するシールドと、シールドを所定位置に再配置可能且つ着脱可能に保持するシールド保持手段を有するシールド保持ステージとを備える。シールド及びシールド保持ステージの両方にある相補的な基準特徴により、試料の処理及び再処理のために、装置内で試料を正確且つ再現可能に位置決めすることができる。傾斜イオンビーム放射手段は、イオンを試料に2つ以上の傾斜角で向け得る。傾斜イオンビーム放射手段と協調して動作して、顕微鏡観測に向けて試料を準備するに当たっての装置の柔軟性及び効率を向上させる回転シールド保持ステージも開示される。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
イオンビーム試料準備装置において、
a)真空チャンバ内に配置され、イオンビームをシールドに向ける傾斜イオンビーム放射手段であって、前記傾斜イオンビーム放射手段が中央イオンビーム軸に沿ってイオンビームを放射し、前記中央イオンビーム軸の方向が、前記シールドに対して傾斜角を有することを特徴とする、傾斜イオンビーム放射手段と、
b)前記傾斜イオンビーム放射手段に動作可能に結合され、前記中央イオンビーム軸の方向を少なくとも2つの異なる傾斜角間で移動させるように構成された傾斜駆動装置と、
c)前記真空チャンバ内に配置されたシールド保持ステージであって、
i)第1の基準特徴、
ii)第2の基準特徴、
iii)少なくともシールド解放位置及びシールド保持位置を有するシールド保持手段
を備える、シールド保持ステージと、
d)少なくとも剛性平坦部を有し、前記シールド保持ステージに着脱可能且つ再配置可能に保持される前記シールドと、
を備え、前記シールドが、
i)前記試料を前記シールドに耐久的に接着するように構成された近位試料面、
ii)前記イオンビームの経路に配置され、前記シールドが前記シールド保持手段の前記シールド保持位置に保持されている場合、前記試料に向けられた前記イオンビームの部分を遮蔽するように位置決めされる第1の遮蔽面、
iii)前記シールドに一体形成される第3の基準特徴であって、前記シールド保持位置にある前記シールド保持手段が、前記第3の基準特徴を付勢して、前記第1の基準特徴に当接させる、第3の基準特徴、及び
iv)前記シールドに一体形成される第4の基準特徴であって、前記シールド保持位置にある前記シールド保持手段が、前記第4の基準特徴を付勢して、前記第2の基準特徴に当接させる、第4の基準特徴
をさらに備えることを特徴とする、装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N1/28 F
, G01N1/28 G
, H01J37/20 Z
2G052AD32
, 2G052EC14
, 2G052EC18
, 2G052EC22
, 2G052GA34
, 2G052GA35
, 5C001CC08
