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J-GLOBAL ID：202102221119939964   整理番号：21A0152690

人工希望パターンに基づくマスク最適化【JST・京大機械翻訳】

Mask Optimization based on artificial desired pattern

著者 (4件)： Peng Fei (The Institute of Technological Sciences, Wuhan University,Wuhan,China) ,  Gui Chengqun (The Institute of Technological Sciences, Wuhan University,Wuhan,China) ,  Song Yi (The Institute of Technological Sciences, Wuhan University,Wuhan,China) ,  Shen Yijiang (School of Automation, Guangdong University of Technology,Guangzhou,China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020  号： IWAPS  ページ： 1-4  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 画像歪を補償する最も効果的な方法の1つとして,逆リソグラフィー技術(ILT)は計算リソグラフィーで広く使用されてきた。しかし,ウエハ画像に対するILTの補償能力は,低域フィルタリングの影響によって制限され,高周波信号を解決するのが難しい。本論文では,新しい最適化アルゴリズムを検討し,ILTに適用した。ターゲットパターン上の高周波数点を特性化し,付加的な低周波信号をこれらの点で追加して,人工の望ましいパターンを形成した。人工の望ましいパターンは,最適化における目標パターンに取って代わって,それは高周波信号の影響を解決するために提案した。シミュレーション結果は,提案方法の優位性を実証して,それは効果的に目標パターンの忠実度を改良した。Copyright 2021 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *最適化 ,  シミュレーション ,  最適化手法 ,  低域フィルタ ,  HF【周波数】 ,  画像歪 ,  キャラクタリゼーション
準シソーラス用語： 逆リソグラフィー ,  計算機リソグラフィー , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (4件)： 人工 ,  希望 ,  マスク ,  最適化