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J-GLOBAL ID:202102226400527282   整理番号:21A0877839

低い動作温度でのAu負荷多孔質In_2O_3ガスセンサのNO_2検知特性の向上【JST・京大機械翻訳】

Enhanced NO2-Sensing Properties of Au-Loaded Porous In2O3 Gas Sensors at Low Operating Temperatures
著者 (6件):
資料名:
巻:号:ページ: 72  発行年: 2020年 
JST資料番号: U7159A  ISSN: 2227-9040  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: スイス (CHE)  言語: 英語 (EN)
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0.5wt%Au(Au/In_2O_3及びIn_2O_3センサ)を負荷及び無添加の多孔質In_2O_3粉末を用いた半導体ガスセンサのNO_2センシング特性を,湿潤空気(70%相対湿度25C)で調べた。さらに,NO_2応答の増加に及ぼすAu負荷の影響を,酸化物表面上のNO_2吸着/脱着特性に基づいて議論した。Au/In_2O_3センサのNO_2応答は,動作温度の低下とともに単調に増加し,Au/In_2O_3センサは,100Cまたはそれ以下の温度でIn_2O_3センサよりも高いNO_2応答を示した。加えて,Au/In_2O_3センサの応答時間は,30CでIn_2O_3センサのものよりはるかに短かった。Freundlich吸着機構に基づく分析は,Au負荷がIn_2O_3表面上のNO_2の吸着強度を増加させることを示唆した。さらに,Au負荷は,湿潤空気中でのIn_2O_3センサのベースライン抵抗(すなわち,In_2O_3中の自由電子数の増加)の減少にも非常に有効であり,In_2O_3表面上の負電荷NO_2種の数の増加をもたらした。Au/In_2O_3センサは,低濃度のNO_2(ターゲットガス中の抵抗比:約133~0.1ppm)とCOおよびエタノールに対する優れたNO_2選択性,特に100Cに対して高い応答を示した。Copyright 2021 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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引用文献 (56件):
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