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J-GLOBAL ID：202102228312438007   整理番号：21A0343920

ScAlN/ヘテロエピタキシャルダイヤモンドを用いた高周波弾性表面波共振器【JST・京大機械翻訳】

High-frequency surface acoustic wave resonator with ScAlN/hetero-epitaxial diamond

著者 (6件)： Kobayashi Yusuke (School of Science and Technology, Kwansei Gakuin University, Sanda, Hyogo, Japan) ,  Tsuchiya Toshiki (School of Science and Technology, Kwansei Gakuin University, Sanda, Hyogo, Japan) ,  Okazaki Masaya (School of Science and Technology, Kwansei Gakuin University, Sanda, Hyogo, Japan) ,  Asao Yuuki (Graduate School of Engineering, Chiba University, Yayoi, Inage, Chiba, Japan) ,  Hashimoto Kenya (Graduate School of Engineering, Chiba University, Yayoi, Inage, Chiba, Japan) ,  Shikata Shinichi (School of Science and Technology, Kwansei Gakuin University, Sanda, Hyogo, Japan)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 111  ページ： Null  発行年： 2021年 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高周波と広帯域表面音響波(SAW)デバイスは,5G通信システムとそれ以上で重要な話題になった。この目的のために,高SAW速度ダイヤモンド上に堆積した圧電ScAlN薄膜を,多結晶ダイヤモンド(PCD)とヘテロエピタキシャルダイヤモンド(HED)基板上のSAW共振器で研究した。HED上のScAlNの非常に強いc軸配向を確認した。0.8μmと0.5μmのディジタル変換器を作製し,2.2~3.5GHz高周波共振器を実現した。PCDとHEDの両方で2.3~2.5GHzデバイスで高いQ値が得られた。さらに,2.3~2.5GHzデバイスにおいて,5.40~5.52%の高い電気機械結合係数(K2)と7400~7766m/sの高いSAW速度が得られた。以前の報告のシミュレートした結合係数の結果と比較して,ScAlN/ダイヤモンドは,Sezawa波に対してより高いK2を持つ可能性がある。Copyright 2021 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *エピタクシー ,  *共振器 ,  薄膜 ,  *ダイヤモンド ,  圧電気 ,  *HF【周波数】 ,  *弾性表面波 ,  Q値 ,  通信方式 ,  結合係数 ,  広帯域
準シソーラス用語： 電気機械結合係数 ,  *SAW共振器 ,  c軸配向 ,  第5世代移動通信システム , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： ダイヤモンド ,  ポリダイヤモンド ,  ヘテロエピタキシャルダイヤモンド ,  SAW ,  高周波 ,  ScAlN

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (2件)： 高周波 ,  弾性表面波共振器