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J-GLOBAL ID：202102228353254147   整理番号：21A2610207

改良4点曲げ測定による誘電体上のCu/Ru(Zn)の接着の研究【JST・京大機械翻訳】

Study of adhesion for Cu/Ru(Zn) on dielectrics by an improved four-point bending measurement

著者 (3件)： Peng Wang (Fudan University,State key lab of ASIC and system, School of Microelectronics,Shanghai,China,200433) ,  Qu Xin-Ping (Fudan University,State key lab of ASIC and system, School of Microelectronics,Shanghai,China,200433) ,  Dordi Yezdi (Lam Research Coropration,USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020  号： IITC  ページ： 115-117  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 非対称試料調製法を4点曲げ測定に用いた。脆性Siの代わりに低ビームとして良好な延性を有する304ステンレス鋼を用いることによって,収率は75%以上に増加した。Ru(Zn)は,Znの協同のため,誘電体との非常に良好な接着性を有することが分かった。Znケイ酸塩の生成は界面付着を著しく改善する。Copyright 2021 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 延性 ,  界面 ,  付着 ,  *誘電体 ,  ケイ酸塩 ,  *亜鉛 ,  ケイ素 ,  脆性 ,  非対称性 ,  試料調製
準シソーラス用語： 粘着性 ,  SUS304 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (6件)： 曲げ ,  誘電体 ,  Cu ,  Ru ,  Zn ,  研究