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J-GLOBAL ID：202102243764695911   整理番号：21A2988309

白色光干渉法のための走査誤り検出と補償アルゴリズム【JST・京大機械翻訳】

Scanning error detection and compensation algorithm for white-light interferometry

著者 (5件)： Cui Kaihua (Institute of Machinery Manufacturing Technology, China Academy of Engineering Physics, 64th Mianshan Road, Mianyang, Sichuan 621000, China) ,  Liu Qian (Institute of Machinery Manufacturing Technology, China Academy of Engineering Physics, 64th Mianshan Road, Mianyang, Sichuan 621000, China) ,  Huang Xiaojin (Institute of Machinery Manufacturing Technology, China Academy of Engineering Physics, 64th Mianshan Road, Mianyang, Sichuan 621000, China) ,  Zhang Hui (Institute of Machinery Manufacturing Technology, China Academy of Engineering Physics, 64th Mianshan Road, Mianyang, Sichuan 621000, China) ,  Li Lulu (Institute of Machinery Manufacturing Technology, China Academy of Engineering Physics, 64th Mianshan Road, Mianyang, Sichuan 621000, China)
資料名： Optics and Lasers in Engineering  (Optics and Lasers in Engineering)
巻： 148  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： A0602B  ISSN： 0143-8166  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 白色光干渉法(WLI)における一次誤差源として,走査ステップの誤差はコヒーレンスピークセンシングに直接影響し,測定精度を大きく低下させる。最小二乗反復アルゴリズムに基づいて,WLIにおける走査誤差を検出し補償するためのアルゴリズムを示した。実際の走査ステップを反復アルゴリズムによる連続移動フリンジから計算し,表面を補償するために計算した走査ステップで再構成した。シミュレーションと実験は,高精度測定が広い周波数帯の擾乱の下で実装できることを示した。提案したアルゴリズムは白色光干渉計応用の環境要求を緩和することができた。Copyright 2021 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *アルゴリズム ,  コヒーレンス ,  最小二乗法 ,  測定精度 ,  *誤り検出 ,  再構成 ,  周波数帯
準シソーラス用語： 高精度 ,  反復アルゴリズム ,  光干渉計 ,  白色干渉法 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 白色光干渉法 ,  表面トポグラフィー測定 ,  振動抵抗 ,  反復アルゴリズム

分類 (2件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (5件)： 白色光干渉法 ,  走査 ,  誤り検出 ,  補償 ,  アルゴリズム