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J-GLOBAL ID：202102244890740051   整理番号：21A0012975

1.3mdps/Hz ARWと0.5°/h安定性を持つNEMSセンシングに基づく50kHz MEMSジャイロスコープ【JST・京大機械翻訳】

50-kHz MEMS gyroscopes based on NEMS sensing with 1.3 mdps/ Hz ARW and 0.5°/h stability

著者 (7件)： Gadola M. (Politecnico di Milano,Dipartimento di Elettronica, Informazione e Bioingegneria,Milano,Italy) ,  Maspero F. (Politecnico di Milano,Dipartimento di Elettronica, Informazione e Bioingegneria,Milano,Italy) ,  Langfelder G. (Politecnico di Milano,Dipartimento di Elettronica, Informazione e Bioingegneria,Milano,Italy) ,  Sansa M. (Univ. Grenoble Alpes,CEA, LETI,Grenoble,France) ,  Verdot T. (Univ. Grenoble Alpes,CEA, LETI,Grenoble,France) ,  Berthelot A. (Univ. Grenoble Alpes,CEA, LETI,Grenoble,France) ,  Robert P. (Univ. Grenoble Alpes,CEA, LETI,Grenoble,France)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020  号： SENSORS  ページ： 1-4  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,運転モードの周波数の関数として,NEMSピエゾ抵抗検出に基づくモード分割MEMSジャイロスコープの設計と性能を論じた。重要な概念は,動作周波数に関する性能(フットプリント,感度および雑音)の独立性であり,外部振動に対するよりロバストなデバイスの設計を可能にする。50kHz付近のモードと1.5mm2フットプリントを持つヨージャイロスコープを作製し,同じ駆動/センシングエレクトロニクスに結合させ,20kHzのツインデバイスに対して比較試験した:センサは,1.4mV/dpsのスケール因子,mdps/Hz1/2範囲の雑音,および0.5°/h安定性を示し,理論的考察を検証した。Copyright 2021 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 雑音 ,  センサ ,  比較試験 ,  *ジャイロスコープ ,  ロバスト性 ,  スケール因子 ,  運転モード ,  *MEMS ,  圧電抵抗 ,  *NEMS ,  フットプリント ,  動作周波数 ,  *MEMSジャイロスコープ

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (4件)： 安定性 ,  NEMS ,  センシング ,  MEMSジャイロスコープ