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J-GLOBAL ID:202102245667819497   整理番号:21A0175377

室温アプローチによる高電子移動度トランジスタ用の(Al)GaNバッファ中の炭素関連トラップエネルギー準位の決定【JST・京大機械翻訳】

Determination of carbon-related trap energy level in (Al)GaN buffers for high electron mobility transistors through a room-temperature approach
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巻: 117  号: 26  ページ: 263501-263501-7  発行年: 2020年 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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炭素ドープ(Al)GaNバッファ中のトラップエネルギー準位を決定する室温法を,バッファ垂直漏洩の測定と組み合わせたバックゲート電圧下のAlGaN/GaN高電子移動度トランジスタの過渡電流測定を介して開発した。高いバックゲート電圧の下で,トラップエネルギー準位と電場強度の平方根の間に直線関係が得られ,Cドープバッファにおける垂直伝導がPoole-Frenkel則に従うことを示唆した。CドープAl_0.07Ga_0.93Nのトラップエネルギー準位は,最終的に確立された室温アプローチを通して1.1eVであると決定され,一方,CドープGaNのそれは0.9eVであり,その両方は炭素不純物に関連している。Copyright 2021 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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トランジスタ 

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