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J-GLOBAL ID：202102246801331748   整理番号：21A0988343

CMOS互換スカンジウムドープ窒化アルミニウムPMUTアレイによる多周波数イメージング【JST・京大機械翻訳】

Multi-Frequency Imaging with a CMOS Compatible Scandium Doped Aluminum Nitride PMUT Array

著者 (7件)： Billen Margo (Imec,Leuven,Belgium) ,  Gao Hang (Imec,Leuven,Belgium) ,  Tabruyn Dries (Imec,Leuven,Belgium) ,  Marigo Eloi (SilTerra Malaysia,Kulim,Malaysia) ,  Soundara-Pandian Mohan (SilTerra Malaysia,Kulim,Malaysia) ,  Helin Philippe (Imec,Leuven,Belgium) ,  Rochus Veronique (Imec,Leuven,Belgium)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2021  号： MEMS  ページ： 907-910  発行年： 2021年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,7および20MHzでの多重周波数イメージングのためのCMOS互換9.5%ScandiumドープアルミニウムNitride圧電マイクロマシン超音波変換器アレイの使用の利点を示した。9.5%のScandiumを有する単一元素に対するAlNドーピングの改善が以前に証明されたが,著者らは,配列構成におけるその能力を示す。MEMSアレイの2つの特別な励起モードを用いることにより,マルチ周波数イメージングが可能で,実証された。さらに,提示したデバイスはSilterraの鋳物により製作され,支持エレクトロニクスと一体的な統合を可能にする。これは,SNRの増加を伴う次世代完全統合ソリューションへのドアを開いた。Copyright 2021 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 励起 ,  圧電気 ,  *画像処理 ,  ドーピング ,  電子技術 ,  鋳物 ,  *窒化アルミニウム ,  マイクロマシン ,  MEMS ,  *CMOS
準シソーラス用語： 超音波変換器アレイ ,  *多重周波数 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (7件)： CMOS ,  スカンジウム ,  ドープ ,  窒化アルミニウム ,  アレイ ,  多周波 ,  イメージング