mSAP生産の高プロセス清浄度要求に合致する新しい酸化物置換プロセスの開発【JST・京大機械翻訳】

Geibel Barbara; Tang Felix; Thomas Thomas; Michalik Fabian; Gaida Josef; Gil-Ibanez Belen; Zou Yuan; Kim Ken; Huelsmann Thomas; Brooks Patrick

文献

J-GLOBAL ID：202102249043887475 整理番号：21A0011565

mSAP生産の高プロセス清浄度要求に合致する新しい酸化物置換プロセスの開発【JST・京大機械翻訳】

The development of a new oxide replacement process to meet the high process cleanliness requirements of mSAP Production

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著者 (10件)： , , , , , , , , ,
資料名：
巻： 2020 号： IMPACT ページ： 137-145 発行年： 2020年
JST資料番号： W2441A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

プロセスの清浄度が大きな関心事になっている将来のマイクロエレクトロニクス応用のための電子製造の開発に続いて,新しい酸化物置換プロセスを開発した。本研究は,焦点としてスラッジフリーエッチング溶液による新しく開発した酸化物置換プロセス(MOR HP)の達成を示した。一方,内部層結合のための基本的性能は,従来の酸化物置換(COR)システムと同じ品質で維持できた。それらは,表面化粧品の優れた均一性,優れた密着性,および内層結合の熱信頼性,優れた耐酸性がピンクリングおよびウェッジボイドに対する優れた保護に役立つ。さらに,酸化物置換システムにおけるスラッジ形成と防止の簡単な提案も提示した。この新しい開発した酸化物置換プロセスは大きな操作上の利点を示し,このプロセスはスラッジフリー特性により設備保全とダウンタイム周波数を著しく低減する。それは,mSAP生産の高いプロセス清浄度要求を満たすために,表面処理工程に順応する最良の方法を示している。Copyright 2021 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

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図形・画像処理一般

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