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J-GLOBAL ID：202102250289145531   整理番号：21A2057438

ナノ粒子を用いた銅-銅結合に関する原子研究【JST・京大機械翻訳】

Atomic Study on Copper-Copper Bonding Using Nanoparticles

著者 (3件)： Song Xiaohui (School of Mechanical Engineering, Zhengzhou University, Zhengzhou, Henan 450001, China; Institute of Applied Physics, Henan Academy of Sciences, Zhengzhou, Henan 450001, China) ,  Zhang Rui (School of Mechanical Engineering, Zhengzhou University, Zhengzhou, Henan 450001, China) ,  Zhao Huadong (School of Mechanical Engineering, Zhengzhou University, Zhengzhou, Henan 450001, China)
資料名： Journal of Electronic Packaging  (Journal of Electronic Packaging)
巻： 142  号： 2  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： T0929A  ISSN： 1043-7398  CODEN： JEPAE4  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 銅ナノ粒子を用いた銅の銅への熱圧縮接合を分子動力学を用いて調べた。接合界面形成過程を調べた。接合プロセスに対して,温度と外部圧力の影響を調べた。また,界面での粒成長を調べた。結果は,高い表面エネルギーと低い圧縮強度を有するナノ粒子が,銅と結合させる活性原子を提供することを示した。ナノ粒子の変形の程度を決定する圧力はナノ粒子の内部から表面へ原子を移動させ,バルク銅と結合を形成するためにより多くの表面原子を提供する。連続圧力増加は結合を助けないが,より高い温度は結合を破壊し,金属原子をこれらの空孔に駆動することにより空孔の形成を促進するであろう。さらに,より高い温度は界面での粒成長を促進する。これらの挙動は,金属結合における結合層としてナノ粒子を用いることが,結合温度と圧力を効果的に減少できることを示した。初期接合段階で適切な圧力を選択し,連続高温保持時間を提供する必要がある。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 界面 ,  結晶成長 ,  高温 ,  接合 ,  表面エネルギー ,  *銅 ,  保持時間 ,  圧縮強さ ,  外圧 ,  分子動力学 ,  金属結合 ,  *ナノ粒子
準シソーラス用語： 接合界面 ,  圧力上昇 ,  銅ナノ粒子 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 固体デバイス材料  (NC03020K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  熱交換器,冷却器  (PA03020G)

タイトルに関連する用語 (4件)： ナノ粒子 ,  銅 ,  原子 ,  研究