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J-GLOBAL ID：202102251207038050   整理番号：21A0552518

パルスジェット法と組合わせた低速He⁺イオン散乱分光によるZnO表面のエタノールセンシングに関する分析

He⁺ LEIS analysis combined with pulsed jet technique of ethanol sensing by a ZnO surface

著者 (4件)： 鈴木拓 (物質・材料研究機構) ,  安達裕 (物質・材料研究機構) ,  大垣武 (物質・材料研究機構) ,  坂口勲 (物質・材料研究機構)
資料名： 日本表面真空学会学術講演会要旨集(Web)
巻： 2020  ページ： 177(J-STAGE)  発行年： 2020年 
JST資料番号： U1883A  ISSN： 2434-8589  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体ガスセンサの動作原理は,被検ガスの脱吸着に伴う表面の酸化還元反応である。したがって,その動作解析には表面分析が必要である。しかし表面分析にはしばしば高真空が必要となる一方,ガスセンサは大気圧下で動作する。本研究ではこの問題の解決に向けて,パルスジェット技術に関する検討を行った。さらにこのパルスジェットと低速イオン散乱分光とを組合わせた最表面組成分析に関する検討も行った。(著者抄録)

シソーラス用語： *噴流 ,  *イオン散乱分光法 ,  *イオン ,  *ヘリウム ,  酸化亜鉛 ,  基板 ,  ガスセンサ ,  *化学センサ
準シソーラス用語： *エタノールセンサ ,  *パルスジェット ,  *ヘリウムイオン ,  単結晶基板

分類 (2件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  無機化合物の物理分析  (CC03024P)

タイトルに関連する用語 (5件)： パルスジェット ,  低速 ,  イオン散乱分光 ,  ZnO ,  分析